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本研究課題では，CMPスラリー中に含まれる砥粒の様な溶液中に分散するコロイドナノ粒子について，ナノ粒子の平均粒径を高精度に評価する方法を確立することを目指し，研究を遂行した．
コロイドナノ粒子に関して，溶液中で単体粒子である一次粒子と複数の粒子の集合体である二次粒子が混在する時，光学式の粒度分布測定法で，ナノ粒子の平均粒径や粒度分布を測定する際には，二次粒子から得られる粒度分布を示す信号と一次粒子
から得られる粒度分布を示す信号が混合され，さらに，二次粒子から発せられる信号強度が極端に大きいため，一次粒子の平均粒径の測定誤差が大きくなる問題が報告されている．
本課題では，一次粒子の平均粒径とその分布を計測するための方法として，蛍光ナノプローブを用いたブラウン運動評価に基づく高精度ナノ粒子粒度分布解析法を提案しており，提案手法の妥当性検証のため，蛍光ナノプローブが標識されたナノ粒子のブラウン運動における拡散時間を計測するための計測システムを開発した．
研究期間中に遂行した実験では，開発したナノ粒子の拡散時間計測システムを用いて，ナノ粒子の粒径の違いによる拡散時間の評価を行い，ナノ粒子の一次粒子の平均粒径に対応して，ナノ粒子の並進拡散運動による拡散速度が変化していることを確認した．
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