研究課題
高性能磁石の代表例である焼結ネオジム磁石は，焼結体から機械加工により1mm以下の薄板に加工する場合，磁気特性劣化が顕著である．また，厚さ１mm以下の磁石を有効に使うためのサブミリオーダピッチのパルス着磁は，着磁コイルの細線化とジュール発熱によるコイルの溶断から，不可能である．これらの制限は，ネオジム磁石を用いるスマートフォンのレンズ駆動アクチュエータや情報記憶装置用アクチュエータなどの小型化や多自由度化の大きなボトルネックとなっている．本研究では，焼結磁石の低ダメージ薄板加工法，ボンド磁石やＰＬＤ（パルスレーザ堆積法）磁石の薄板成形法を検討するとともに，得られた薄板磁石の微細加工，微細着磁パターンを形成する手法の研究開発，また，それらの技術を組合せたマイクロ多自由度アクチュエータの実現を目的とし，磁石の微細加工，微細着磁，応用までを含めた総合的な研究を実施する．平成29年度は，放電加工機によって薄板加工した焼結ネオジム磁石に対して，局所的にレーザ加熱し，磁化反転する手法で，碁盤の目の状にNS着磁された磁石アレイを作成した．これと，PCBボードに製作した２層のミアンダ状マイクロコイル，磁石アレイを支持案内するシリコン弾性案内からなる２自由度駆動マイクロアクチュエータを試作，それを用いた位置制御実験を実施した．また，シリコン・酸化シリコン上にPLDにて高速堆積した厚膜磁石に，レーザ加熱により，微細磁気パターンを形成する実験も合わせて実施した．
1: 当初の計画以上に進展している
予定より早くマイクロアクチュエータの試作に着手できている．
マイクロアクチュエータの位置決め制御の結果，高周波駆動する場合，位置決め方向以外の振動が励起されることが明らかになり，現在，マイクロ案内の再設計を進めている．また，本研究の技術に対して，数社の企業が，別の用途での利用を打診してきており，当初の計画に加え，それらのニーズを踏まえつつ，研究を進展する予定である．
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すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 1件)
IEEE Transaction on Magnetics
巻: 53 ページ: -
10.1109/TMAG.2016.2633362
まぐね
巻: 12 ページ: 26-30
