本研究の目的は,MEMS技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し,新エネルギー,省エネルギーや耐環境材料,医療技術,細胞観察などグリーン/ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである. 具体的には,数ミリ角,厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを,MEMS技術を応用し同時または別個に加振すると共に,その振動状態をセンシングすることで,各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化MEMS薄膜ライブラリを製作した.これを用いて磁歪材料など新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証した.
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