集積化ＭＥＭＳを用いた超ハイスループット材料評価技術

2018 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 16H04300
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 秦 誠一 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50293056)
• 研究期間 (年度): 2016-04-01 – 2019-03-31
• キーワード: ナノマイクロメカトロニクス / ＭＥＭＳ / コンビナトリアル技術 / 材料創成

研究成果の概要

本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．
具体的には，数ミリ角，厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを，ＭＥＭＳ技術を応用し同時または別個に加振すると共に，その振動状態をセンシングすることで，各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリを製作した．これを用いて磁歪材料など新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証した．

自由記述の分野

機械工学

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．具体的には，微小なサンプルを一つの基板上に集積して製作し，それを基板または外部に設けたセンサで評価することで，これまで逐次行われていた材料開発を，高処理能力（ハイスループット）評価する技術を開発した．本研究では，その具体例として磁歪材料などをハイスループット評価できる技術を開発，実証した．