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2018 年度 実績報告書

窒化ガリウムからのテラヘルツ放射機構の解明と物性評価への応用

研究課題

研究課題/領域番号 16H04330
研究機関大阪大学

研究代表者

川山 巌  大阪大学, レーザー科学研究所, 准教授 (10332264)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワードテラヘルツ波 / ワイドギャップ半導体 / 窒化ガリウム / 酸化ガリウム
研究実績の概要

前年度までに自発分極が面内方向(c軸方向)に存在するm面 GaN をレーザーテラヘルツ放射顕微鏡(LTEM)により観察し、c 軸と平行な自発分極により放射THz 波が増強されていることを確認し、また、m面GaN試料を回転させることにより、分極反転ドメインの特定にも成功している。本年度は、THzベクトルイメージングの手法を取り入れ、任意のベクトル量をもつm-GaN の表面の局所分極を可視化することに成功した。m面GaN 表面から放射されたTHz波を二つのワイヤーグリッド偏光子に通して、片方のワイヤーグリッドを90度回転させることにより、THz波の偏光のx成分とy成分の分布を取得する。この2つの偏光成分を合成しすることによりベクトルイメージングに成功した。これまでの一方向のみの分極を検出する手法では、分極反転ドメインの形状は観察することができたが、界面や内部の分極方向の詳細は不明であった。本手法により、ドメイン内部における分極の変化の様子がより鮮明にイメージングすることが可能となった。また、本手法により分極の表面に平行な成分と垂直成分を分離することに成功し、ドメイン界面では面に垂直な分極が増加することが明らかになった。
また、本年度はGaNに加えて、よりバンドギャップの大きい酸化ガリウム(β-Ga2O3)からのTHz波放射にも成功した。ドーピング濃度の異なる2種類のn型Ga2O3と絶縁性のGa2O3に3次高調波発生(THG)により波長245nmのレーザーで励起することにより、THz放射波形を計測した。その結果、n型と絶縁性のGa2O3では、放射ピークの位相が反転しており、フェルミ準位が大きく異なっていることを示唆している。このことはGa2O3においても、LTEMが表面ポテンシャル等の評価に有効であることを示唆している。

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2018

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 5件、 招待講演 4件)

  • [雑誌論文] Control of dipole properties in high-k and SiO2 stacks on Si substrates with tricolor superstructure2018

    • 著者名/発表者名
      Hotta Yasushi、Kawayama Iwao、Miyake Shozo、Saiki Ikuya、Nishi Shintaro、Yamahara Kota、Arafune Koji、Yoshida Haruhiko、Satoh Shin-ichi、Sawamoto Naomi、Ogura Atsushi、Ito Akira、Nakanishi Hidetoshi、Tonouchi Masayoshi、Tabata Hitoshi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 113 ページ: 012103~012103

    • DOI

      10.1063/1.5034494

    • 査読あり
  • [学会発表] テラヘルツ放射分光・イメージングによる半導体材料・デバイス評価2018

    • 著者名/発表者名
      川山 巌
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会(ED)テラヘルツ応用システム研究会(THz)
    • 招待講演
  • [学会発表] Terahertz emission spectroscopy and imaging for energy saving material/device development2018

    • 著者名/発表者名
      Iwao Kawayama
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Advanced Materials and Processes for Environment, Energy and Health
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Evaluation of semiconductor materials and devices by laser-induced terahertz emissions2018

    • 著者名/発表者名
      Iwao Kawayama
    • 学会等名
      SPIE Optical Engineering + Applications Conrerence
    • 国際学会
  • [学会発表] Characteristics of Laser-Induced Terahertz Emissions from Gallium Oxide Surfaces2018

    • 著者名/発表者名
      Jian Hao, Gong Chen, Tatsuhiko Nishimura, Hidetoshi Nakanishi, Hironaru Murakami, Masayoshi Tonouchi, Iwao Kawayama
    • 学会等名
      25th INTERNATIONAL WORKSHOP ON OXIDE ELECTRONICS
    • 国際学会
  • [学会発表] Terahertz emission spectroscopy of wide band gap semiconductors2018

    • 著者名/発表者名
      Iwao Kawayama
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Research 2018
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Probing interface potential of semiconductor heterostructures with laser terahertz emission spectroscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Iwao Kawayama
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Ultrafast Phenomena and Terahertz Waves (ISUPTW2018)
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2019-12-27  

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