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2018 年度 実績報告書

テラヘルツLEDの研究

研究課題

研究課題/領域番号 16H04351
研究機関徳島大学

研究代表者

北田 貴弘  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 特任教授 (90283738)

研究分担者 森田 健  千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (30448344)
熊谷 直人  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (40732152)
南 康夫  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 特任准教授 (60578368)
盧 翔孟  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 特任助教 (80708800)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワード電子デバイス・機器 / テラヘルツ/赤外材料・素子 / 半導体非線形光学デバイス
研究実績の概要

半導体多層膜結合共振器を使った"テラヘルツLED"の実現を目的に研究を進めてきた。電流注入による赤外二波長レーザー発振と二次非線形光学効果による差周波発生を同一素子内で行うことを原理とする。室温動作の素子を目指して以下の内容に取り組んだ。
(001)と(113)Bエピウエハの直接接合による結合共振器薄膜を使った電流注入型面発光素子について、素子温度が二波長発振特性に及ぼす影響を詳細に調べた。大気雰囲気中で素子をマウントした試料ホルダを加熱すると、薄膜構造中での熱勾配により短波モードの発振が強くなる傾向がみられた。また、ストリークカメラを使った時間分解測定から、二波長発振の同時性も素子温度で調節可能であることを示唆する結果が得られた。
テラヘルツ波発生効率の向上を目指し、2つの(113)Bエピウエハを直接接合して結合共振器薄膜を作製し、メサ加工、電極形成等の素子プロセスを施して面発光素子を試作した。本素子では、双方の共振器層が非線形媒体として働き、かつ光学利得の異方性により二波長発振の偏波制御が期待できる。試作素子は、パルス電流注入で室温レーザー発振した。しかし、2つの共振器層厚の若干のずれにより、長波モードのみの発振しか得られなかった。偏波特性を調べたところ、二次の非線形光学効果には有利となる[33-2]方向に偏波した直線偏光とほぼ見なせる結果であった。
既存のフーリエ赤外分光装置に不具合があったため、高抵抗シリコンウエハをハーフミラーとしたマイケルソン干渉計を自作し、Ge光伝導検出器を使って分光計測できる測定系を新たに構築した。さらに、数百ヘルツの周期でバースト的にマイクロ秒以下のパルスを発生する電源を自作し、素子から生じるテラヘルツ波をロックイン検出できるようにした。二波長発振する素子について測定を試みたが、差周波発生による明瞭なテラヘルツ波信号の観測には至らなかった。

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2019 2018

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 4件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs and AlAs/Ge/AlAs heterostructures grown on (1?1?3)A and (1?1?3)B GaAs substrates2019

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 512 ページ: 74~77

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2019.02.010

    • 査読あり
  • [学会発表] 小型フーリエ変換赤外分光装置の製作と測定法の確立2019

    • 著者名/発表者名
      中山 政裕, 菅野 裕吾, 石谷 善博, 北田 貴弘, 森田 健
    • 学会等名
      2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] (113)B GaAsウエハ接合で作製したGaAs/AlGaAs多層膜結合共振器への電流注入によるレーザ発振2019

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 小楠 洸太朗, 髙橋 美沙, 合田 剛史, 熊谷 直人, 森田 健, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] GaAs系の多層膜結合共振器を使ったテラヘルツLEDの作製を目指した基礎的研究2019

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      LED総合フォーラム2019 in 徳島
  • [学会発表] 2つの(113)Bエピウェハの直接接合で作製した半導体結合共振器の電流注入レーザー発振2019

    • 著者名/発表者名
      合田 剛史, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      平成30年度第5回半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回講演会
  • [学会発表] 量子ドットを活性層とする結合共振器の光励起レーザ発振2019

    • 著者名/発表者名
      髙橋 美沙, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      平成30年度第5回半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回講演会
  • [学会発表] DBR膜上の低温成長InGaAs量子井戸によるテラヘルツ光伝導スイッチの研究,2019

    • 著者名/発表者名
      阿部 広睦, 張 弘翼, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      平成30年度第5回半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回講演会
  • [学会発表] Time resolved measurement of two-color laser lights emitted from a GaAs/AlGaAs coupled multilayer cavity2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Minami, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Ken Morita and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      23rd Microoptics Conference (MOC 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs and AlAs/Ge/AlAs heterostructures grown on (113)A and (113)B GaAs substrates2018

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      20th International Conference on Molecular Beam Epitaxy (ICMBE 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature tuning of two-color lasing using a coupled GaAs/AlGaAs multilayer cavity by current injection2018

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami, Naoto Kumagai, Ken Morita and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      The 45th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] Simultaneous oscillation of two-color laser lights from a GaAs/AlGaAs coupled multilayer cavity2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Minami, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Ken Morita and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      The Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO 2018)
    • 国際学会
  • [学会発表] 半導体結合共振器を利用したテラヘルツ波発生2018

    • 著者名/発表者名
      森田 健, 盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 北田 貴弘, 井須 俊郎
    • 学会等名
      テラヘルツ科学の最先端V
    • 招待講演
  • [学会発表] MBEによる(113)A GaAs基板上におけるAlAs/Ge/AlAsヘテロ構造の副格子交換2018

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2018年 第79回 応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs多層膜結合共振器への電流注入による二波長発振の動的振る舞いの温度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      小楠 洸太朗, 南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2018年 第79回 応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 半導体多層膜結合共振器による赤外二波長レーザー発振2018

    • 著者名/発表者名
      北田 貴弘, 盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 森田 健
    • 学会等名
      2018年電子情報通信学会ソサイエティ大会
    • 招待講演
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs結合共振器による二波長面発光レーザの時間分解スペクトル測定2018

    • 著者名/発表者名
      小楠 洸太朗, 南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2018年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会

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公開日: 2019-12-27  

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