| 研究課題/領域番号 |
16H04356
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 早稲田大学 |
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研究代表者 |
柳谷 隆彦 早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (10450652)
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| 研究分担者 |
高柳 真司 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (00735326)
吉田 憲司 千葉大学, フロンティア医工学センター, 助教 (10572985)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | 圧電薄膜 / センサ / ScAlN / 抗原抗体反応 |
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| 研究成果の概要 |
抗原抗体反応などの生体高分子を検出するセンサは、小型なものであることが望ましい。水晶振動子（QCM）を用いた抗原抗体反応測定において、測定感度を向上させるためには水晶板の薄片化が求められるが、機械強度の低下につながる。音響多層膜共振子（SMR）を用いることで機械強度を損なわない高感度測定が期待できるが、そこで、c軸傾斜ScAlN（傾斜角度: 48°）を用いた音響多層膜共振子を作製し、液体粘性の評価を試みた。k’15~2 = 13.0%と高品質なScAlN薄膜の作製に成功した。さらに、グリセリン水溶液の濃度変化に伴う反共振周波数ピークの変化が観測された。
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| 自由記述の分野 |
圧電デバイス
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年の医療費は増大の一途を辿っている。医療費低減には、健康管理を在宅で行える予防医療システムの研究開発が待たれている。本研究は、病変マーカの抗原抗体反応を検出できる高感度センサの実現を目指すものである。具体的には独自の横波薄膜共振子の固有振動数変動を用いて、抗原抗体反応の質量を検出するセンサ基盤技術を構築する。新たに発見した「巨大圧電性薄膜」を用いてこの問題を解決し、Ｓ/Ｎ比を向上させた高感度・低雑音センサを実現する。これにより高感度質量計測システムを構築する。
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