| 研究課題/領域番号 |
16H04508
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
西川 宏 大阪大学, 接合科学研究所, 教授 (90346180)
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| 研究分担者 |
水野 潤 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 上級研究員(研究院教授) (60386737)
齋藤 美紀子 早稲田大学, ナノ・ライフ創新研究機構, 上級研究員(研究院教授) (80386739)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | エレクトロニクス実装 / 高温はんだ代替接合 / ナノポーラス材料 / 焼結型接合 |
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| 研究実績の概要 |
本研究では、これまでの研究成果をより発展させて実用的な検討を行うとともに、ナノポーラス材料とバルク金属（被接合材）との界面反応や接合メカニズムなどの基礎現象論の深掘りを進め、基礎と応用の両面で研究を推進した。本年度は最終年度として、具体的には次の３項目について研究を行った。
（１）ナノポーラス材料とパルク金属の接合メカニズムの解明と接合信頼性の評価：ナノポーラス材料として、Auナノポーラス材料とCuナノポーラス材料、バルク金属（被接合材）としてCuバルク材とAuめっき材を準備し、ナノポーラス材料とバルク金属材料の組み合わせを入れ替えながら、接合部界面や接合強度を評価することで、ナノポーラス構造の効果や接合メカニズムの解明をおこなった。その結果、界面にボイドが形成されにくい組み合わせを見出し、長期信頼性に優れた接合部形成が可能となった。
（２）めっき法を用いたナノポーラス構造の形成メカニズムの解明と接合特性評価：Au-Ag合金めっき膜からナノポーラス構造を形成し、そのナノポーラス構造を利用した接合も可能であることを明らかにしており、本年度、接合強度向上に向け初期めっき液中のAgイオンとAuイオンの濃度比が、形成される合金めっき膜や熱処理後のめっき膜、最終的なナノポーラス構造に与える影響や最終的な接合強度に与える影響を評価した。
（３）表面活性化技術を利用した低温・低加圧での接合部形成：これまでに得られた表面活性化及び表面修飾の技術を応用し、表面にナノ構造を作製する新しいプロセスの検討を行った。
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| 現在までの達成度 (段落) |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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