| 研究課題/領域番号 |
16H06064
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| 研究種目 |
若手研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 (2018-2019)
名古屋大学 (2016-2017) |
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研究代表者 |
溝尻 瑞枝 長岡技術科学大学, 産学融合トップランナー養成センター, 特任准教授 (70586594)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2020-03-31
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| キーワード | フェムト秒レーザ還元 / レーザ加工 / 微細加工 / ナノ粒子 / 錯体 / 還元 / 3D金属微細造形 |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は，フェムト秒レーザパルスが誘起する熱還元を利用して金属や半導体の大気中直接描画プロセスを創製することにある．具体的には，フェムト秒レーザパルスの焦点近傍のみで誘起される非線形光吸収を利用して，材料内部へ金属や半導体を還元析出し，3次元微細構造を直接描画形成する．金属酸化物ナノ粒子や金属錯体を原料とし，Cu，Ni，Cu-Ni合金，酸化物半導体などの大気中直接還元描画を実現した．更に，還元度を制御することによって異なる特性を有する材料の選択的描画形成を実現し，熱電対の直接描画形成への応用展開を行った．
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| 自由記述の分野 |
微細加工
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の目的は，フェムト秒レーザパルスが誘起する熱還元を利用して金属や半導体の大気中直接描画プロセスを創製することにある．大気中での簡便な金属・半導体パターンの直接描画形成技術は，プリンテッドエレクトロニクス分野への応用も期待できる．更には，センサなどの各種マイクロデバイスのオンデマンド製造など，次世代モノづくり技術として展開できる可能性もある．
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