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これまでの研究で開発した1mm角のマイクロ超音波モータは，10μNmというトルクを発生でき，同様のサイズの先行研究が発表した結果と比べると数百倍大きいものである．本研究では，このマイクロ超音波モータの性能向上に取り組み，マイクロギアを取り付けて，従来と比べて約100倍となる，最大1mNmのトルクを実現した．さらに，マイクロ超音波モータを用いて，パンチルト機構，リンク機構などのマイクロロボットの開発を行い，機構を評価するための力学モデルを構築し，実験的に検証および評価を行った．その他にも，マイクロリニア超音波モータの開発や，小型化したときの性能を予想するスケール則の導出に成功した．
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