研究課題
本研究では,現代社会のテクノロジドライバとなっている半導体集積回路製造プロセスの微細化に伴って解像度向上が可能(スケーラブル)なバイオセンサ集積回路を実現するための新たな手法としてデジタル回路構成のパルスベース自己参照型時間分解能センサ回路技術を提案し,その有効性を実集積回路プロセスにて検証することをその目的とする.本研究開発を通じて、22nm ULL (Ultra Low Leakage : 超低消費リーク電流) CMOSプロセスというバルクCMOSプロセスとしては先端のCMOS製造プロセスにおいて、バイオセンサ集積回路の性能検証を行うことに成功した。22nm ULL CMOSプロセスにおいては、パルスベースの自己参照型時間分解能センサ回路技術を微細CMOSに適応したデジタル回路を積極的に用いることでバイオセンサ集積回路においてもスケーラブルな性能向上が見込めることが判明した。半導体集積回路製造プロセスの進化に伴って時間分解能は向上することが見込まれるため、パルスベースの回路技術は今後のプロセスの進化にも適応することが想定される。この結果によって、今後も続くと見込まれる半導体集積回路製造プロセスの進化を、バイオセンサ集積回路の性能向上へと結びつけることへの見通しを得るに至った。これにより、低消費電力・高分解能が求められるアプリケーションにおいて、今後もバイオセンサ集積回路の性能を高めていくことについての可能性を示すに至った。
令和元年度が最終年度であるため、記入しない。
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