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2020 年度 実績報告書

電子の走行と遷移が融合したテラヘルツ放射の解明によるデバイス限界の打破

研究課題

研究課題/領域番号 16H06292
研究機関東京工業大学

研究代表者

浅田 雅洋  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (30167887)

研究分担者 宮本 恭幸  東京工業大学, 工学院, 教授 (40209953)
鈴木 左文  東京工業大学, 工学院, 准教授 (40550471)
西山 伸彦  東京工業大学, 工学院, 教授 (80447531)
研究期間 (年度) 2016-04-26 – 2021-03-31
キーワードテラヘルツ波 / テラヘルツ電子デバイス / テラヘルツ光デバイス / 室温テラヘルツ光源 / 共鳴トンネルダイオード / 周波数可変発振素子 / テラヘルツ無線通信 / テラヘルツレーダー
研究実績の概要

本研究は、テラヘルツ周波数帯に対して、共鳴トンネルダイオード(RTD)発振器による光源に注目し、①電子デバイスと光デバイスの原理を繋ぐテラヘルツデバイス物理の解明と学問的基盤の確立、②これに基づいた高性能半導体テラヘルツ光源の実現、③その応用展開までの一連を目的とし、今年度は以下の成果を得た。
①テラヘルツデバイス物理の解明に関して、電子のトンネルと蓄積で生じる遅延、および、光子の放出と吸収を伴う電子のトンネル遷移を導入して、電子デバイスと光デバイスの特性を同時に考慮した微分負性コンダクタンス(NDC)の理論を構築した。この理論により、周波数とともにNDCが大きく低下する測定結果を説明することができた。
②高性能半導体テラヘルツ光源では、矩形空洞共振器を集積した高出力発振器について、作製プロセスを簡略化した素子により、ボウタイ集積で530 GHz、ダイポール集積では比較的大面積で300~400 GHzの発振を得て、構造最適化により高出力が可能である見通しを得た。また、昨年に続き、作製プロセスを大幅に簡単化したスロットアンテナ集積発振器において、スプリットリング共振器による低損失構造で、1.2 THzまでの発振と、900 GHzで出力30マイクロワットのほぼ理論通りの発振特性を得るとともに、応用で重要となるビームステアリングの基本動作として、注入同期によるRTD発振器の位相制御を達成した。
③応用展開では、サブキャリアAMCW方式のレーダーを導入した3次元イメージングシステムを構築し、深さ方向の誤差0.02 mmを達成した。サブキャリア方式を拡張したDFTレーダーでは、多重の物体の測定を実証した。また、サブキャリアFMCWレーダーでは、1点あたりの測定時間が10ミリ秒以下のリアルタイム測定に成功した。これらRTDレーダー基本システムのそれぞれについて特長と長所短所を比較した。

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (44件)

すべて 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 14件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (22件) (うち国際学会 11件、 招待講演 2件) 図書 (2件) 備考 (4件) 産業財産権 (2件) (うち外国 2件)

  • [雑誌論文] Terahertz Emitter Using Resonant-Tunneling Diode and Applications2021

    • 著者名/発表者名
      Asada Masahiro、Suzuki Safumi
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 21 ページ: 1384

    • DOI

      10.3390/s21041384

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Hybrid optical imaging with near-infrared, mid-infrared, and terahertz wavelengths for nondestructive inspection [Invited]2021

    • 著者名/発表者名
      Tokizane Yu、Ejiri Hikaru、Minamikawa Takeo、Suzuki Safumi、Asada Masahiro、Yasui Takeshi
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 60 ページ: B100

    • DOI

      10.1364/AO.415131

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Wet etching for isolation of N-polar GaN HEMT structure by electrodeless photo-assisted electrochemical reaction2021

    • 著者名/発表者名
      Aota T.、Hayasaka A.、Makabe I.、Yoshida S.、Gotow T.、Miyamoto Y.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 ページ: SCCF06

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abe7c0

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Amplitude-modulated continuous-wave radar in the terahertz range using lock-in phase measurement2020

    • 著者名/発表者名
      Dobroiu Adrian、Wakasugi Ryotaka、Shirakawa Yusuke、Suzuki Safumi、Asada Masahiro
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 31 ページ: 105001

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab912a

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Subcarrier Frequency-Modulated Continuous-Wave Radar in the Terahertz Range Based on a Resonant-Tunneling-Diode Oscillator2020

    • 著者名/発表者名
      Dobroiu Adrian、Shirakawa Yusuke、Suzuki Safumi、Asada Masahiro、Ito Hiroshi
    • 雑誌名

      Sensors

      巻: 20 ページ: 6848

    • DOI

      10.3390/s20236848

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Structure-Simplified Resonant-Tunneling-Diode Terahertz Oscillator Without Metal-Insulator-Metal Capacitors2020

    • 著者名/発表者名
      Van Mai Ta、Suzuki Yusei、Yu Xiongbin、Suzuki Safumi、Asada Masahiro
    • 雑誌名

      Journal of Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves

      巻: 41 ページ: 1498~1507

    • DOI

      10.1007/s10762-020-00738-7

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sensitive terahertz-wave detector responses originated by negative differential conductance of resonant-tunneling-diode oscillator2020

    • 著者名/発表者名
      Takida Yuma、Suzuki Safumi、Asada Masahiro、Minamide Hiroaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 ページ: 021107

    • DOI

      10.1063/5.0012318

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analysis of a high-power resonant-tunneling-diode terahertz oscillator integrated with a rectangular cavity resonator2020

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Kazunori、Suzuki Safumi、Han Feifan、Tanaka Hiroki、Fujikata Hidenari、Asada Masahiro
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 ページ: 050907

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8b40

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Simulation of the Short Channel Effect in GaN HEMT with a Combined Thin Undoped Channel and Semi-Insulating Layer2020

    • 著者名/発表者名
      MIYAMOTO Yasuyuki、GOTOW Takahiro
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics

      巻: E103.C ページ: 304~307

    • DOI

      10.1587/transele.2019FUS0002

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Topological converter for high-efficiency coupling between Si wire waveguide and topological waveguide2020

    • 著者名/発表者名
      Kagami Hibiki、Amemiya Tomohiro、Okada Shou、Nishiyama Nobuhiko、Hu Xiao
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 28 ページ: 33619

    • DOI

      10.1364/OE.398421

    • 査読あり
  • [雑誌論文] InP membrane integrated photonics research2020

    • 著者名/発表者名
      Jiao Yuqing、Nishiyama Nobuhiko、van der Tol Jos、van Engelen Jorn、Pogoretskiy Vadim、Reniers Sander、Kashi Amir Abbas、Wang Yi、Calzadilla Victor Dolores、Spiegelberg Marc、Cao Zizheng、Williams Kevin、Amemiya Tomohiro、Arai Shigehisa
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 36 ページ: 013001

    • DOI

      10.1088/1361-6641/abcadd

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design and measurement of broadband loop mirror with curved directional coupler based on Si waveguides2020

    • 著者名/発表者名
      Mitarai Takuya、Moataz Eissa、Miyazaki Takayuki、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 ページ: 112002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abbe68

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Si photonic waveguides by electron beam lithography using improved proximity effect correction2020

    • 著者名/発表者名
      Eissa Moataz、Mitarai Takuya、Amemiya Tomohiro、Miyamoto Yasuyuki、Nishiyama Nobuhiko
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 ページ: 126502

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abc78d

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-quality InP/SOI heterogeneous material integration by room temperature surface-activated bonding for hybrid photonic devices2020

    • 著者名/発表者名
      Wang Yuning、Nagasaka Kumi、Mitarai Takuya、Ohiso Yoshitaka、Amemiya Tomohiro、Nishiyama Nobuhiko
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 ページ: 052004

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8434

    • 査読あり
  • [学会発表] 共鳴トンネルダイオード発振器を用いたテラヘルツレーダー2021

    • 著者名/発表者名
      鈴木 左文
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] スプリットリング共振器を集積したテラヘルツ共鳴トンネルダイオード発振器の作製および評価2021

    • 著者名/発表者名
      兪 熊斌
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] 共鳴トンネルダイオード発振器を用いたテラヘルツ3Dイメージング2021

    • 著者名/発表者名
      淺間 康太郎
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] テラヘルツ半導体技術の最前線とイメージング応用2021

    • 著者名/発表者名
      浅田雅洋
    • 学会等名
      応用物理学会チュートリアル講演
    • 招待講演
  • [学会発表] Distance Measurement Using A Subcarrier Frequency-modulated Continuous-wave Radar Based On A Resonant-tunneling-diode Oscillator2020

    • 著者名/発表者名
      Adrian Dobroiu
    • 学会等名
      International Conference on Infrared, Millimeter, and THz Waves
    • 国際学会
  • [学会発表] Novel RTD Oscillator with Simplified Structure and Fabrication Process2020

    • 著者名/発表者名
      Ta Mai Van
    • 学会等名
      International Conference on Infrared, Millimeter, and THz Waves
    • 国際学会
  • [学会発表] Sensitive Continuous-Wave Terahertz Detection by Resonant-Tunneling-Diode Oscillators2020

    • 著者名/発表者名
      Yuma Takida
    • 学会等名
      International Conference on Infrared, Millimeter, and THz Waves
    • 国際学会
  • [学会発表] OCT Technique For Distance Measurement Using An RTD Terahertz Oscillator2020

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Konno
    • 学会等名
      International Conference on Infrared, Millimeter, and THz Waves
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of Oscillation Characteristics for Resonant-Tunneling Diode Cavity-type Terahertz Oscillator2020

    • 著者名/発表者名
      Feifan Han
    • 学会等名
      International Conference on Infrared, Millimeter, and THz Waves
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of Oscillation Characteristics for Resonant-Tunneling Diode Cavity-type Terahertz Oscillator2020

    • 著者名/発表者名
      Mikhail Bezhko
    • 学会等名
      International Conference on Infrared, Millimeter, and THz Waves
    • 国際学会
  • [学会発表] Wet Etching for Isolation of N-polar GaN HEMT Structure by Electrodeless Photo-Assisted Electrochemical Reaction2020

    • 著者名/発表者名
      T. Aota
    • 学会等名
      International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] 1020-nm-band optical cloak using double-layered metamaterial film2020

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Amemiya
    • 学会等名
      Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 国際学会
  • [学会発表] Control of slow-light effect in metamaterial-loaded Si waveguide2020

    • 著者名/発表者名
      Makoto Tanaka
    • 学会等名
      Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical vortex splitter using topological edge state waveguide2020

    • 著者名/発表者名
      Sho Okada
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical vortex beam splitter using topological edge state waveguide2020

    • 著者名/発表者名
      Sho Okada
    • 学会等名
      Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 国際学会
  • [学会発表] 共鳴トンネルダイオード発振器を用いたテラヘルツ波帯広帯域ヘテロダインミキシング2020

    • 著者名/発表者名
      瀧田 佑馬
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] Estimation of Output Power Characteristics for Resonant-Tunneling Diode THz Oscillator with Cylindrical Cavity Resonator2020

    • 著者名/発表者名
      Mikhail Bezhko
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] Frequency increase of up to 673 GHz in structure simplified RTD oscillators with small mesa2020

    • 著者名/発表者名
      Mai Van Ta
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] RTD テラヘルツ発振器を用いたOCT 方式レーダーシステムの誤差の評価および低減2020

    • 著者名/発表者名
      今野 弘樹
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] スプリットリング共振器を集積したテラヘルツ共鳴トンネルダイオード発振器2020

    • 著者名/発表者名
      兪 熊斌
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] Structure optimization of RTD THz oscillator integrated with rectangular-cavity resonator for high output power2020

    • 著者名/発表者名
      Feifan Han
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
  • [学会発表] 矩形空洞共振器とスロットアンテナを集積した高出力高周波共鳴トンネルダイオードテラヘルツ発振器2020

    • 著者名/発表者名
      兪熊斌
    • 学会等名
      電子情報通信学会 テラヘルツ応用システム研究会
  • [図書] Fundamentals of Terahertz Devices and Applications2021

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Asada and Safumi Suzuki
    • 総ページ数
      400
    • 出版者
      Wiley
  • [図書] THz Communications2021

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Asada and Safumi Suzuki
    • 総ページ数
      430
    • 出版者
      Springer
    • ISBN
      978-3-030-73737-5
  • [備考] 東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所 浅田雅洋研究室ホームページ

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/AsadaLab/

  • [備考] 東京工業大学 工学院 電気電子系 鈴木左文研究室ホームページ

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/SuzukiLab/

  • [備考] 東京工業大学 工学院 電気電子系 宮本恭幸研究室ホームページ

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/Furuya-MiyamotoLab/

  • [備考] 東京工業大学 工学院 電気電子系 西山伸彦研究室ホームページ

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/

  • [産業財産権] テラヘルツ発振器及びその製造方法2021

    • 発明者名
      鈴木左文、マイ ヴァン タ、鈴木雄成、浅田雅洋
    • 権利者名
      国立大学法人東京工業大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      PCT/JP2021/000069
    • 外国
  • [産業財産権] サブキャリア変調方式テラヘルツレーダー2020

    • 発明者名
      鈴木左文、ドブロユ アドリアン、浅田雅洋
    • 権利者名
      国立大学法人東京工業大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      17/128,633
    • 外国

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公開日: 2021-12-27  

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