• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2017 年度 研究成果報告書

超酸分子による無機デバイス材料表面への大気安定パッシベーション法の開拓

研究課題

  • PDF
研究課題/領域番号 16H07127
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関大阪府立大学

研究代表者

桐谷 乃輔  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80568030)

研究期間 (年度) 2016-08-26 – 2018-03-31
キーワード無機半導体 / 分子 / 酸化還元 / 超酸 / パッシベーション
研究成果の概要

本研究では、分子溶液を用いた無機半導体の物性制御・プロセス技術の開拓を視野に入れ研究を進めた。次世代の無機デバイス材料として注目されるゲルマニウムおよび二次元半導体(二硫化モリブデン)に対して、分子溶液処理の効果を探索したところ、双方の材料において、溶媒種が重要な寄与を持つことを実験的に明らかにした。特に二硫化モリブデンにおいては、光学特性の変化が溶媒種と密接に関与することを明らかとし、物性制御における溶媒の重要性を示した。この知見は、従来の半導体プロセスの利用を困難とする薄層の次世代半導体に対して、効果的に物性制御する手法として有用な知見となると考えている。

自由記述の分野

デバイス材料科学

URL: 

公開日: 2019-03-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi