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2017 年度 実績報告書

光伝導スイッチによる電界集中型加速方式を用いた超高電荷・低エミッタンス電子銃開発

研究課題

研究課題/領域番号 16H07443
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

佐藤 大輔  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 (40780086)

研究期間 (年度) 2016-08-26 – 2018-03-31
キーワード光伝導半導体スイッチ / 電子銃 / イオン加速
研究実績の概要

本研究は、光伝導半導体スイッチ(PCSS)を用いた電界集中型加速方式という新たな加速方式を提案し、軸上加速電界がGV/mを超える高電界で電子を引き出しつつ、数mmの加速距離で空間電荷効果の影響が小さくなるMeV領域までビームを瞬時に加速するという、全く新しいコンセプトの高電荷・低エミッタンス電子銃の開発を目指すものである。
研究最終度は、電界集中型加速方式を実現に不可欠な光伝導スイッチのON抵抗の改善と駆動時間の短縮化するため、PCSS構造の改良や特性評価用回路の変更、レーザーの照射条件といったスイッチ駆動条件の最適化などを包括的に実施した。光伝導半導体スイッチの製作に関しては、まず電極間のギャップ間距離を変えたモデルや基板に対して片面ずつに電極を付けたモデルなど多数のスイッチ構造を試作した。また、半導体基板と電極の接合が低抵抗なオーミック接合となるように電極を構成する金属薄膜層の膜厚やアニール温度、昇温時間等様々な条件を変えたモデルを製作した。また、PCSSの駆動性能評価回路においては、非常に高い周波数特性を有する大電力用抵抗を採用した。さらに、スイッチ駆動のために利用するレーザー光源としては、これまで使用してきた1064nm以外に532nmや266nmなどの多波長の光源を使用した。以上のような各条件を組み合わせた性能評価試験を実施し、PCSSの最適モデル、最適照射条件等を探索した。その結果、20kV/cm以上の耐電圧特性を維持しつつ、ON抵抗が数Ω以下まで改善することに成功した。また、数ns程度で高速駆動するPCSSを製作できていることが確かめられた。また、研究で製作したPCSSにおいては、電子加速のみならず陽子やイオン加速にも利用でき、新たな加速器の可能性を見出し、論文として報告するに至った。

現在までの達成度 (段落)

平成29年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成29年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (1件)

すべて 2018

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件)

  • [雑誌論文] A photoconductive semiconductor switch driven ion beam injector for radiobiological experiments2018

    • 著者名/発表者名
      Satoh Daisuke、Ikeda Naoki、Yoshida Mitsuhiro、Uesaka Mitsuru
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 2011 ページ: 090016

    • DOI

      10.1063/1.5053397

    • 査読あり / オープンアクセス

URL: 

公開日: 2019-12-27  

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