| 研究課題/領域番号 |
16K00992
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
科学教育
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| 研究機関 | 香川高等専門学校 |
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研究代表者 |
長岡 史郎 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 教授 (30300635)
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| 研究分担者 |
堀邊 英夫 大阪市立大学, 大学院工学研究科, 教授 (00372243)
下川 房男 香川大学, 創造工学部, 教授 (90580598)
山本 雅史 香川高等専門学校, 電気情報工学科, 講師 (60733821)
清水 共 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 講師 (40455168)
JOHNSTON ROBERT 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 准教授 (60743698)
鹿間 共一 香川高等専門学校, 電気情報工学科, 教授 (70206069)
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| 研究協力者 |
鹿間 共一
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | Sol-Gel / 熱拡散 / p-n接合 / 工学教育 / リソグラフィ / プロセス / デバイス |
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| 研究成果の概要 |
半導体各種デバイスの設計製作評価を理科室のような環境で可能する“ナノテクプラットフォーム“の構築について検討した。大気環境下における熱処理により、リンとボロンを選択的かつ同時に行う方法, 熱酸化膜作製方法及び焼結による電極作製を提案し、制御性よく実現可能なことを実証した。さらにマスクアライメントなしでパタンの位置合わせを正確にできるリソグラフィ方法を考案し実現した。これらの成果をもとに教育効果の有効性を実際に検証した。物理科学分野における初等から先端科学技術教育をシームレスにつなげ、柔軟な発想力の研鑽に貢献できる教育環境構築としてのナノテクプラットフォームを実現できることを実証した。
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| 自由記述の分野 |
半導体デバイス
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年の急速なIoTの進展に伴い、様々な情報を検知する機能デバイスの要望が高まっている。新規デバイスを創出できる研究開発者及び技術者の育成は、物理や化学、電子回路等を、学校の教室と実験室で学ぶのと同様、早い段階から実際にデバイスの設計製作評価の学習と実験を行うことが重用である。本研究は、先人の斬新な発想を実際に追体験し、アイデアの作り方が学べるよう、さらに現在の最先端技術も学習できるよう、最新の技術と材料を駆使して実験装置とプロセスを簡素化し、”ナノテクプラットフォーム”として再構築した。学生は、理科室等の既存の設備環境で構築されたこの環境下で理解を深め創造性を磨くことができる点で意義は大きい。
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