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2018 年度 実績報告書

ナノインプリント用ガス透過性モールド材料

研究課題

研究課題/領域番号 16K04920
研究機関富山県立大学

研究代表者

竹井 敏  富山県立大学, 工学部, 教授 (90580069)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワードガス透過 / ナノパターニング / 多孔質 / レジスト / 機能材料 / 電子材料 / 糖鎖 / リソグラフィ
研究実績の概要

ナノインプリント法による成型不良を改善するため、シクロデキストリンやカリックスアレーン等の空孔部分を高度利用したガス透過性透明モールド材料の設計指針を提案した。ナノメートルの空孔部分を有する分子の水酸基に光反応基を化学修飾させたナノインプリント用ガス透過性モールド材料の開発により、ナノインプリントモールドが巻き込む空気のかみ込みによる成型不良が改善できる目的があった。
最終年度は、転写成功回数の向上のための機能性プラスチック成形用ガス透過性透明モールド材料の設計・プロセスの最適化と大面積化を行った。機能性プラスチック成形用ガス透過性透明モールド材料による被転写材の転写成功回数が100回以上に改善することが新たに分かった。ガス透過性透明モールド材料の転写成功回数の向上のための材料設計の最適化と鍵となる要素を把握した。
また、約17倍の機能性プラスチック成形用ガス透過性透明モールド材料の大面積化を達成できた。先行研究において被転写材料中に含有された揮発性溶媒量を2倍にしても高いガス透過性と繰り返し転写性を保持することができ、更に、蒸気圧や溶解性が異なる複数の揮発性溶剤を含有した被転写材料にもガス透過性透明モールド材料による加工が対応できることが分かった。
本研究成果は、受賞2件(内定1件含む)と共に、査読有学術論文・国際会議プロシーディングス11件、口頭発表12件、ポスター発表5件、出版分担2件、及び新聞発表2件にて公開した。

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2019 2018 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 4件) 図書 (2件)

  • [国際共同研究] IMEC(ベルギー)

    • 国名
      ベルギー
    • 外国機関名
      IMEC
  • [国際共同研究] NNIN(米国)

    • 国名
      米国
    • 外国機関名
      NNIN
  • [国際共同研究] IME(シンガポール)

    • 国名
      シンガポール
    • 外国機関名
      IME
  • [雑誌論文] Fabrication of moth-eye gold nanostructures by nanoimprint lithography using solvent-permeable porous cross-link molds derived from hydroxypropyl-cyclodextrin2019

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Takei
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 12 ページ: 1-5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gas permeable microimprint template derived from cellulose nanofiber derivatives for mechanical properties2019

    • 著者名/発表者名
      Seigo Murayama, Ikuo Motono, Kento Mizui, Kenji Kondoh, Makoto Hanabata, Satoshi Takei
    • 雑誌名

      Journal of Nanomaterials

      巻: 5180460 ページ: 1-7

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Safety-oriented photolithography of water soluble resist using water-coating and water-developable processes for edible pharmaceutical polymer films2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Takei
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 11 ページ: 1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultraviolet nanoimprint gas-permeable templates derived from cellulose with acrylate and methacrylate groups to reduce void defects2018

    • 著者名/発表者名
      Shinya Nakajima, Satoshi Takei, Soichiro Takamatsu, Kento Mizui, Toshitaka Oka, Yoko Matsumoto, Atsushi Sekiguchi, Makoto Hanabata
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57 ページ: 1-6

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of gas permeability of gas permeable metal plate in photo-imprint lithography2018

    • 著者名/発表者名
      Naoto Sugino, Shinya Nakajima, Kento Mizui, Makoto Hanabata, Satoshi Takei
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 31 ページ: 575-580

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reduction of defect for imprinted UV curable resin including volatile solvents using gas permeable mold derived from cellulose2018

    • 著者名/発表者名
      Kento Mizui, Kazuho Kurematsu, Shinya Nakajima, Makoto Hanabata, Satoshi Takei
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 31 ページ: 289-294

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 水・アルコール現像性植物由来レジストを用いた環境配慮型極端紫外光と電子線リソグラフィ2018

    • 著者名/発表者名
      竹井敏
    • 雑誌名

      放射線化学会誌

      巻: 106 ページ: 17-20

    • 査読あり
  • [学会発表] Gas permeable mold for defect reduction in nanoimprint lithography2019

    • 著者名/発表者名
      Kento Mizui, Haruo Sato, Makoto Hanabata, Satoshi Takei
    • 学会等名
      Proc. SPIE (2019) 10958-43
    • 国際学会
  • [学会発表] High volume manufacturing of optical MEMS devices using biomass nanopatterning materials and ecofriendly water-developable lithography processes2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Takei
    • 学会等名
      Proc. SPIE (2018) 10787-28
    • 国際学会
  • [学会発表] Internal structure of metal material with gas permeability function related to MEMS devices2018

    • 著者名/発表者名
      Naoto Sugino, Takao Kameda, Satoshi Takei
    • 学会等名
      Proc. SPIE (2018) 10787-28
    • 国際学会
  • [学会発表] Utilization of gas permeable metal plate for the purpose of reduction of transfer defect in MEMS electronic device2018

    • 著者名/発表者名
      Takao Kameda, Naoto Sugino, Satoshi Takei
    • 学会等名
      Proc. SPIE (2018) 10787-29
    • 国際学会
  • [図書] ナノインプリント技術ハンドブック2019

    • 著者名/発表者名
      竹井 敏
    • 総ページ数
      6.14.1-6
    • 出版者
      オーム社
  • [図書] 光化学フロンティア2018

    • 著者名/発表者名
      竹井 敏
    • 総ページ数
      284-298
    • 出版者
      化学同人

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公開日: 2019-12-27  

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