| 研究課題/領域番号 |
16K04989
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
光工学・光量子科学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 |
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研究代表者 |
長谷川 登 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (50360409)
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| 研究分担者 |
錦野 将元 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, グループリーダー(定常) (70370450)
石野 雅彦 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (80360410)
難波 愼一 広島大学, 工学研究科, 教授 (00343294)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | レーザーアブレーション / フェムト秒レーザー加工 / 軟Ｘ線干渉計測 / 時間空間分解計測 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、フェムト秒レーザーのアブレーションダイナミクスの解明のために、7ピコ秒の時間分解能・1.5ナノメートルの深さ分解能・0.7ミクロンの空間分解能を有する軟Ｘ線レーザー干渉計を用いて、アブレーション閾値近傍における膨張表面の時間・空間分解計測を行った。表面計測の観測に最適な軟Ｘ線をプローブとしたことで、フェムト秒レーザーアブレーション特有の薄膜構造を伴った膨張過程の時間発展の直接観測が可能となり、ナノメートル級の微小な膨張が始まる初期過程からクレーターの形成までを同一の配置で観測することに成功した。
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| 自由記述の分野 |
レーザー工学、プラズマ物理
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究で開発した軟Ｘ線レーザープローブを用いた時間空間分解計測手法により得られるアブレーションダイナミクスに関する計測結果は、従来困難であったシミュレーションと実験の直接比較を可能とする。また、本計測手法は、金属に限らず軟Ｘ線が反射可能な条件であれば様々な材質に対して適応可能であることから、加工シミュレーター等の開発への貢献が期待される。
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