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本研究はイオンビームやレーザービームを用い、シリコンナノ結晶を作製し、それを用いた光電子機能デバイスの実現をめざし、発光現象を中心としたシリコンナノ結晶の物性を調べることを目的とした。特に、シリコンナノ結晶形成のプロセス低温化、シリコンナノ結晶からの発光強度の増強、発光波長の制御の可能性などを探るため、急速加熱、紫外エキシマ光照射等を組み合わせた手法を用いて研究を進めた。その結果、電気炉による高温熱処理前にこれらの処理を行うことで発光効率が向上し、プロセスの低温化も可能となることや、レーザーアブレーションによってもイオン注入と類似の試料・結果を得られることがわかった。
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