| 研究課題/領域番号 |
16K05965
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 茨城大学 |
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研究代表者 |
中村 雅史 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 准教授 (60302329)
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| 研究分担者 |
鈴木 秀人 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 名誉教授 (30090369)
崎野 純子 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 技術職員 (40272116)
阿相 英孝 工学院大学, 先進工学部, 教授 (80338277)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | ダイヤモンドライクカーボン / アルミニウム陽極酸化皮膜 / 微細凹凸構造 |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は，規則配列した直管状の孔を持つアルミニウムの陽極酸化皮膜（以降P.A.膜）をDLC膜のスパッタリング時のマスキング材として使用して，ナノレベルの凹凸構造を有するDLC膜を作製することである．アルミニウム板上で作製したP.A膜を剥離して、基材上に設置してカーボンをスパッタリングし、その後P.A膜を溶解除去する方法を実施した結果，ドット状に分布したナノレベル凹凸構造を有するDLC膜を成膜することができた．また，P.A.膜の孔の大きさや孔の高さを変えることによって形成されるドット状のDLC膜の大きさが変化することも分かった．
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| 自由記述の分野 |
表面改質，材料
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究成果で得られたナノドット状のDLC膜は他に例がなく独創的である．また，DLC膜がナノレベルの大きさで細かく断片化されているため，DLC膜の最大の弱点である内部残留応力が低減され，膜の割れを防止できると考えられる．さらに基材変形時にDLC膜に加わるひずみを低減できるため，ゴムや樹脂などの軟質材料や純アルミなどの低ヤング率の材料にも適用できると考えられる．そのため社会的意義は大きいと考えられる．
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