MEMS材料への適用を視野に,インクジェット法による形状・機能性のフレキシブルデザインを可能にする新しい合金薄膜の成膜法を提案する.本手法は,複数の金属ナノ粒子インクを基板に滴下し,組成を空間的に制御した合金薄膜を直接印刷するインクジェット成膜法である.合金組成・形状を独立に制御可能となり,同一基板内で異なる膜厚・組成・機能を有する薄膜が一括で成膜可能となることが期待される.一方で原料となる卑金属ナノ粒子の生成法が確立されていないため,本研究ではパルスアークプラズマ蒸着法による卑金属ナノ粒子の生成について研究を実施した.その結果,不活性ガス雰囲気下でFeナノ粒子の生成に成功した.
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