| 研究課題/領域番号 |
16K05999
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 富山県立大学 (2017-2018)
東北大学 (2016) |
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研究代表者 |
伊東 聡 富山県立大学, 工学部, 准教授 (00624818)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | 計測工学 / 超精密計測 / 精密位置決め / マイクロプローブ / 実時空間校正 / スロットダイ / メトロロジー |
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| 研究成果の概要 |
マイクロスリットやマイクロピンホール等の微小開口部寸法は精密塗布工具やインジェクタ等の性能を決定付けるため，開口内部の精密計測が要求されている．本研究では，ナノメートル領域まで接近させた物体間に働く吸着力に着目した表面相互作用力検出型マイクロプローブを開発し，微小溝幅測定法とプローブ直径校正に基づく精度保証に関する研究に取り組んだ．本課題では，せん断方向に加振させたスタイラスによる表面相互作用力検出に基づき全方位ナノ分解能プロービングを達成した．また回転基準球によるプローブ先端球直径の実時空間校正法を考案し，実機による実行可能性を有することを明らかにした．
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| 自由記述の分野 |
計測工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
ミクロンオーダのスリットや開口を有する精密部品は，機能性材料のコーティングや内燃機関，化学・医薬品製造等に幅広く使用されており，マイクロ開口の形状や寸法の精度は機器や製品の性能や品質に影響を及ぼすことからナノメートル精度での測定が要求されている．本研究ではミクロンサイズの開口内部を高感度かつ精密に直接計測可能なマイクロプローブを開発し，微小溝幅のナノ精度の計測及び精度保証に取り組んだ．本研究成果は複雑な形状を有するマイクロサイズ機械部品や工具の三次元精密計測の高精度化への貢献が期待される．
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