MEMS式熱量計によるナノ粒子表面比熱の検証と比熱法則拡張への挑戦

2018 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 16K06140
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 熱工学
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 阿部 陽香 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (70462835)
• 研究期間 (年度): 2016-04-01 – 2019-03-31
• キーワード: 比熱容量

研究成果の概要

物質の比熱容量を測定する熱分析装置のひとつとして示差走査熱量計があるが、微小な熱的変化を捉えるには限界がある。そこで本研究では、微細加工技術 ( Micro Electro Mechanical Systems，MEMS ) を用いた示差熱測定式熱量センサーを開発し、比熱容量測定の高度化を進めた。本センサーを開発することにより、ナノ材料等の直接的な微小熱容量測定を実現し、バルク材の比熱としてはこれまで考慮されていなかった表面比熱等の影響を検証できる可能性がある。

自由記述の分野

熱工学

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究成果により、これまで市販装置では捕らえることができなかったナノ・マイクロサイズの物質の熱的性質を観測できる可能性がある。今回開発した示差熱測定式MEMS 熱量センサーの測定の信頼性が確保できれば、多岐にわたる産業分野でのナノ材料等の熱量評価に大きく貢献できると期待される。