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2017 年度 実施状況報告書

レーザー光電界加工による金属表面機能性付与の安定制御

研究課題

研究課題/領域番号 16K06745
研究機関京都大学

研究代表者

橋田 昌樹  京都大学, 化学研究所, 准教授 (50291034)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワードレーザー光電界加工 / 微細構造形成 / 機能性付与加工 / 金属・半導体材料 / 安定制御
研究実績の概要

本研究では、赤外短パルスレーザーの光電界加工により固体表面に自己形成する微細な構造体の「サイズ」とその「結晶」を同時に制御し、新しい機能性付与金属表面加工の基盤を確立することを目的としている。特に、新しい結晶(非晶質)を付与した微細構造体を作成し、従来法において非晶質が実現されなかった銅、金、銀、白金といった実用上最も重要な金属に対して、材料種と短パルスレーザーの照射条件に関する基礎データから短パルスレーザーによる自己形成微細構造体のサイズとその結晶の関係を明らかにするとともに微細構造体形成機構の解明を試み安定した非晶質金属微細構造体作成のための加工技術を構築する事にある。この目的を達成するため2年目は、1)非晶質化した金属微細構造体の組成分析、2)赤外短パルスレーザー光電界加工により金属表面から放出する荷電粒子のエネルギー評価に取り組み、非晶質化している表層には金属の他に水素イオンが注入されている可能性があることを考察した。また放出される金属イオンのエネルギーは、測定装置が実験室内から一時的に退去する必要が生じ測定できなかったが表面構造とレーザーとの相互作用についてシミュレーションすることで考察した。計算により得られたイオンエネルギーから、予想される表面の非晶質化層の厚みを考察した。原子数層の極表層が非晶質化している可能性が高い。イオンのエネルギーを議論する上で重要なアブレーション閾値フルーエンスについて我々の成果に加え、これまで報告されている金属について編纂した。アブレーション閾値フルーエンスは金属の仕事関数に関係があることを明らかにしイオン放出を考察する上で重要なデータベースが構築できた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

今年度予定していた2課題のうち1課題については実験装置の一時的な移動により実験は実施できなかったが表面の微細構造の形からシミュレーションを実施することで考察した。特にレーザー照射により金属表面から放出されるイオンエネルギーは本研究で目的としている「かたち」と「機能」との関係を明らかにするうえで重要な要素の一つであるが、微細構造物の平均的な形から放出イオンエネルギーを計算により予想し非晶質化への寄与を考察した。これらの成果より研究はおおむね順調に進んでいると考えている。

今後の研究の推進方策

次年度以降は、表面機能性付与加工による微細構造形成について提案した物理機構の妥当性を検証し、種々の材料に対して安定形成を実現するため以下の課題を実施する予定である。③非晶質金属微細構造体作成の基盤構築、④機能性付与加工金属の新しい機能探索、これらの成果から種々の材料に対して表面機能付与加工の基盤を構築する予定である。

  • 研究成果

    (17件)

すべて 2018 2017 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (13件) (うち国際学会 5件、 招待講演 2件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Directional linearly polarized terahertz emission from argon clusters irradiated by noncollinear double-pulse beams2017

    • 著者名/発表者名
      K. Mori , M. Hashida, T. Nagashima, D. Li , K. Teramoto, Y. Nakamiya, S. Inoue, S. Sakabe
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 111 ページ: 241107~241107

    • DOI

      10.1063/1.4991736

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ablation rate reduction of silicon interacted with double pulse beam of femtosecond lasers2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, S. Masuno, Y. Furukawa, M. Kusaba, S. Inoue, S. Sakabe, H. Sakagami, M. Tsukamoto
    • 雑誌名

      Conference on Lasers and Electro-optics

      巻: 2017 ページ: STh3J3-1~2

    • 査読あり
  • [学会発表] フェムト秒レーザーダブルパルス照射による金属アブレーションの抑制2018

    • 著者名/発表者名
      古川 雄規,小島 完興,寺本 研介,森 一晃,井上 峻介,橋田 昌樹,阪部 周二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第38回年次大会
  • [学会発表] 微細構造形成によるチタンのレーザー着色2018

    • 著者名/発表者名
      西野 将伍,橋田 昌樹,古川 雄規,小島 完興,井上 峻介,阪部 周二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第38回年次大会
  • [学会発表] フェムト秒レーザーダブルパルス照射によるチタンアブレーションの抑制のレーザーフルーエンス依存性2018

    • 著者名/発表者名
      古川雄規, 小島完興, 寺本研介, 井上峻介A, 橋田昌樹, 阪部周二
    • 学会等名
      日本物理学会第73回年次大会
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによる金属表面への着色機構2018

    • 著者名/発表者名
      西野将伍, 橋田昌樹, 古川雄規, 小島完興, 井上峻介, 阪部周二
    • 学会等名
      日本物理学会第73回年次大会
  • [学会発表] Suppression of ablation by double-pulse femtosecond laser irradiation2018

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, S. Masuno, Y. Furukawa, M. Kusaba, H. Sakagami, S. Inoue, S. Sakabe and M. Tsukamoto
    • 学会等名
      Photonics West 2018
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 高強度レーザーによるTHz発生と加工への応用2018

    • 著者名/発表者名
      橋田昌樹
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] Si基板表面のテラヘルツ帯 自由電子レーザー誘起周期構造2018

    • 著者名/発表者名
      長島 健, 入澤明典, 橋田昌樹, 東谷篤志, 菅 滋正, 阪部周二
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Reduction of ablation rate on silicon surface irradiated by a double-pulse beam2017

    • 著者名/発表者名
      M. Hashida, S. Masuno, Y. Furukawa, M. Kusaba, H. Sakagami, S. Inoue, S. Sakabe and M. Tsukamoto
    • 学会等名
      The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)
    • 国際学会
  • [学会発表] Extremely low ablation rate of metals Using XeCl excimer laser2017

    • 著者名/発表者名
      M. Kusaba, M. Hashida, and S. Sakabe
    • 学会等名
      The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2017)
    • 国際学会
  • [学会発表] Reduction of ablation rate on silicon surface irradiated by double-pulse beam with two color laser2017

    • 著者名/発表者名
      S. Masuno, M. Hashida, Y. Furukawa, M. Kusaba, H. Sakagami, S. Inoue, S. Sakabe and M. Tsukamoto
    • 学会等名
      International Conference on Laser Ablation (COLA2017)
    • 国際学会
  • [学会発表] Nano-structures Formed by Low Fluence Irradiation of XeCl Excimer Laser2017

    • 著者名/発表者名
      M. Kusaba, M. Hashida, and S. Sakabe
    • 学会等名
      International Conference on Laser Ablation (COLA2017)
    • 国際学会
  • [学会発表] チタンのアブレーションのフェムト秒レーザーダブルパルス照射による抑制2017

    • 著者名/発表者名
      古川雄規, 寺本研介, 森一晃, 中宮義英, 井上峻介, 橋田昌樹, 阪部周二
    • 学会等名
      日本物理学会第72回年次大会
  • [学会発表] フェムト秒レーザーダブルパルス照射による金属表面ナノ構造の形成2017

    • 著者名/発表者名
      古川雄規, 寺本研介, 森一晃, 中宮義英, 井上峻介, 橋田昌樹, 阪部周二
    • 学会等名
      日本物理学会 2017年秋季大会
  • [備考] 国内学術講演会

    • URL

      http://laser.kuicr.kyoto-u.ac.jp/html(Japanese)%20/SakabeLabHPJpn53(Fruits)(DomConf).html

  • [備考] 国際会議発表

    • URL

      http://laser.kuicr.kyoto-u.ac.jp/html(Japanese)%20/SakabeLabHPJpn52(Fruits)(IntConf).html

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公開日: 2018-12-17  

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