超微細銅配線では銅多結晶粒を一様に粗大化することが必須である。本研究は、フェーズフィールド法による計算機実験でピン止め効果の評価をし、不純物を低減したプロセスの実証実験を行った。さらに、応力を付加した場合の粒径粗大化の効果についても計算した。 粒成長の計算機実験では、不純物のピン止め効果により粒成長の阻害が見られた。この結果は電子顕微鏡の断面観察と符合した。また、実証実験において、不純物を低減したプロセスにより、銅多結晶粒を一様に粗大化でき、配線抵抗を著しく低減することに成功した。加えて、アニール時に系に応力を付加することにより、さらなる粒径粗大化が期待できることが計算機実験により示された。
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