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2017 年度 実施状況報告書

液相剥離法の高度化による原子層薄膜の作製とデバイス化

研究課題

研究課題/領域番号 16K13633
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

橘 浩昭  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (10357428)

研究分担者 阿澄 玲子  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 副研究部門長 (40356366)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワード層状化合物
研究実績の概要

有機合成化学的手法により得られた層状ゲルマニウム化合物にメチル基をインターカレートした化合物(GeCH3)を種々な極性溶媒(N-メチルピロリドン(NMP)、N,N-ジメチルアルデヒド(DMF)、ジメチルスルオキシド(DMSO)、イソプロパノール(IPA)、酢酸ブチル、アセトン、クロロホルム、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン)を用いて超音波分散機により分散効果を調べた所、グラフェンやMoS2で分散性がよいと言われているNMPやIPAでは分散性が悪く、有機半導体材料をよく溶解するハロゲン系溶媒で分散しやすく、得られた分散液は数週間以上安定であることが分かった。得られた分散液に紫外光を照射することにより、室温で赤色発光を示すことをも明らかにした。さらに、最適なハロゲン系溶媒を組み合わせて用いることにより、超音波分散機により短時間で分散できることも分かった。また、GeCH3を分散した溶液を用いて、ウエットプロセス法により固体基板上に作製した薄膜は、紫外光を照射することにより、室温で赤色発光を示すことも分かった。また、有機合成化学的手法により、嵩高い置換基(直鎖アルキル基(エチル基、オクチル基)、分岐したアルキル基(イソプロピル基、イソペンチル基)芳香族環(フェニル基)など)を層状ゲルマニウム化合物にインターカレートすることができ、置換基のサイズに応じて層間距離が増大することが分かり、分散のしやすさが置換基のサイズに依存することも明らかにした。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

メチル基をインターカレートした層状ゲルマニウム化合物の分散液の作製条件、ならびに得られた分散液からの薄膜作製条件を確立し、さらに層状ゲルマニウム化合物にインターカレートした置換基サイズの効果も明らかにしたため。

今後の研究の推進方策

分散液から得られた薄膜の構造解析、ならびに薄膜トランジスターのキャリア移動度などの層状ゲルマニウム化合物の基礎特性の評価、ならびに電界発光デバイスの作製と基礎特性の評価を行う予定です。また、より高濃度な分散液、ならびにインク化の開発、および層状スズ化合物への展開を考えている。

次年度使用額が生じた理由

最終年度に向けて研究を加速させるために、実験補助者の雇用費に使用予定である。

  • 研究成果

    (1件)

すべて 2018

すべて 学会発表 (1件)

  • [学会発表] 層状ゲルマナン分散液の作製の試み2018

    • 著者名/発表者名
      橘浩昭、戸田直也、阿澄玲子
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会

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公開日: 2019-03-07  

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