研究課題
挑戦的萌芽研究
セラミックス薄膜を省エネ、低材料資源、短時間プロセス(低プロセスコスト)で製造する技術は、次世代エレクトロニクに大きな寄与を果たす。本研究の高精細でアスペクト比の高い単結晶α-MoO3ナノロッドアレイは、簡便な手段で大きなエリアに製膜し、既存のセンサデバイスを大きく上回る性能を示した。従って、本研究の手法は、製造プロセスのコスト削減と省資源を実現する有用な次世代エレクトロニクス製造手段である。
材料