2017 年度研究成果報告書

ナノ材料応用に向けたデバイス製造プロセスの簡略化と半導体ガスセンサ特性の向上

研究課題

研究課題/領域番号	16K13637
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	ナノ材料工学
研究機関	大阪大学
研究代表者	菅原徹大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (20622038)
研究期間 (年度)	2016-04-01 – 2018-03-31
キーワード	有機金属分解法 / 半導体ガスセンサ / 酸化物薄膜
研究成果の概要	セラミックス薄膜を省エネ、低材料資源、短時間プロセス（低プロセスコスト）で製造する技術は、次世代エレクトロニクに大きな寄与を果たす。本研究の高精細でアスペクト比の高い単結晶α-MoO3ナノロッドアレイは、簡便な手段で大きなエリアに製膜し、既存のセンサデバイスを大きく上回る性能を示した。従って、本研究の手法は、製造プロセスのコスト削減と省資源を実現する有用な次世代エレクトロニクス製造手段である。
自由記述の分野	材料