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2016 年度 実施状況報告書

先端グラフェンNEMS技術を基盤とする革新的熱フォノンエンジニアリング素子の創製

研究課題

研究課題/領域番号 16K13650
研究機関北陸先端科学技術大学院大学

研究代表者

水田 博  北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 教授 (90372458)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
キーワードナノマシン / 先端機能デバイス / マイクロ・ナノデバイス / 熱工学
研究実績の概要

サスペンデッド状態にした大面積CVDグラフェン薄膜上に、収束ヘリウムイオンビームを用いて2次元ナノ孔アレイを形成する方法でグラフェンフォノニック結晶構造を作製した。ナノ孔の直径および孔の間隔を縮小するために、ヘリウムイオンビームのドーズ量とビームピッチの最適化を行った結果、ナノ孔の直径3~4nm、ナノ孔間隔(孔の中心間隔)9nmと、孔寸法・間隔ともにシングルナノメータレベルで加工することに成功した。さらに、このナノ孔アレイを介した電気伝導特性の温度依存性を測定し、室温で十分な電流密度が得られること、および低温でトランスポートギャップが増大することを見出した。このことは、形成したナノ孔の周辺に点欠陥領域が形成され、実効的なナノ孔間隔を狭めていることを示唆している。さらに、CVDグラフェン膜中の結晶粒界、あるいは表面残留不純物などに起因すると考えられる局所的な孔不形成が生じるケースが見つかり、今後の歩留まり改善に向けたグラフェン膜の均一性向上の課題も見つかった。
また、幅の異なる極細グラフェンナノリボン(GNR)のヘテロ接合構造に対して、非平衡分子動力学(NEMD)による解析を行い、熱バイアスの極性の切り替えによって、ヘテロ接合付近でフォノン局在分布に顕著な変化が現れ、熱整流作用が生じることを見出した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

収束ヘリウムイオンビームによるグラフェンフォノニック結晶構造作製、および非平衡分子動力学(NEMD)を基づく大規模シミュレーションによるグラフェンフォノニックヘテロ接合構造/熱整流素子の設計・解析、ともに、ほぼ当初の計画通りに進展している。

今後の研究の推進方策

H28年度に構築したシングルナノメータ孔アレイ形成技術を駆使して、コヒーレント熱フォノンに対して作用するグラフェンフォノニック結晶構造と、粒子的性質の熱フォノンに対して有効なフォノンブロッカーを、2本の平行サスペンデッドグラフェンナノリボン(熱電対)上に集積化した新奇ナノゼーベック素子を試作する。グラフェンのアンビポーラ特性を利用して、2つのトップゲートの電圧の極性を逆に設定し、熱電対チャネルの電子と正孔キャリア密度をそれぞれのゲート電極で変調する。試作した素子の特性評価においては、ナノスケール・拡張3ω法による熱電変換特性評価を行う。また、グラフェンフォノンへテロ接合構造をベースとした熱整流素子基本構造を作製する。ヘテロ構造チャネルを流れる熱流コンダクタンスと両端に加える熱バイアスの相関、およびその熱バイアス極性依存性を測定して、熱整流効率を評価する。

  • 研究成果

    (49件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (11件) (うち国際共著 11件、 査読あり 11件、 謝辞記載あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (38件) (うち国際学会 15件、 招待講演 11件)

  • [雑誌論文] Interaction study of nitrogen ion beam with silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Schmidt Marek E.、Zhang Xiaobin、Oshima Yoshifumi、Anh Le The、Yasaka Anto、Kanzaki Teruhisa、Muruganathan Manoharan、Akabori Masashi、Shimoda Tatsuya、Mizuta Hiroshi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 35 ページ: 03D101~03D101

    • DOI

      10.1116/1.4977566

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Study of dynamic contacts for graphene nano-electro-mechanical switches2017

    • 著者名/発表者名
      W. Wang, M. Muruganathan, J. Kulothungan and H. Mizuta
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 56 ページ: -

    • DOI

      10.7567/JJAP.56.04CK05

    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Partial hydrogenation induced interaction in a graphene-SiO2 interface: Irreversible modulation of device characteristics2017

    • 著者名/発表者名
      T. Iwasaki, M. Muruganathan, M. E. Schmidt and H. Mizuta
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: 9 ページ: 1662-1669

    • DOI

      10.1039/C6NR08117G

    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Local hole doping concentration modulation on graphene probed by tip-enhanced Raman spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      T. Iwasaki, T. Zelai, S. Ye, Y. Tsuchiya, H. M. H. Chong, and Hiroshi Mizuta
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 111 ページ: 67-73

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2016.09.068

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Nitrogen GFIS-FIB secondary electron imaging: A first look2017

    • 著者名/発表者名
      M. E. Schmidt, A. Yasaka, M. Akabori, and H. Mizuta
    • 雑誌名

      Microscopy and Microanalysis

      巻: 印刷中 ページ: 印刷中

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] 3D Finite Element Simulation of Graphene Nano-Electro-Mechanical Switches2016

    • 著者名/発表者名
      J. Kulothungan, M. Muruganathan, and H. Mizuta
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 7(8) ページ: -

    • DOI

      10.3390/mi7080143

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Locally Actuated Graphene-Based Nano-Electro-Mechanical Switch2016

    • 著者名/発表者名
      J. Sun, M. Muruganathan, N. Kanetake and H. Mizuta
    • 雑誌名

      Micromachines

      巻: 7(7) ページ: -

    • DOI

      10.3390/mi7070124

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Highly Functional Graphene Nano-Electromechanical (GNEM) Devices for Advanced Switch and Sensor Applications2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, J. Sun, M. E. Schmidt and M. Muruganathan
    • 雑誌名

      the Emerging Nanomaterials and Devices issue of ECS Transactions

      巻: 75(13) ページ: 3-9

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Precise milling of nano-gap chains in graphene with a focused helium ion beam2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Zhou, P. Maguire, J. Jadwiszczak, M. Muruganathan, H. Mizuta and H. Zhang
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 27(32) ページ: -

    • DOI

      10.1088/0957-4484/27/32/325302

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Strong modulation of plasmons in graphene with the use of an inverted pyramid array diffraction grating2016

    • 著者名/発表者名
      N. Matthaiakakis, H. Mizuta and M. D. B. Charlton
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 6 ページ: -

    • DOI

      10.1038/srep27550

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Room Temperature Detection of Individual Molecular Physisorption using Suspended Bilayer Graphene2016

    • 著者名/発表者名
      J. Sun, M. Muruganathan, and H. Mizuta
    • 雑誌名

      Science Advances

      巻: 2(4) ページ: -

    • DOI

      10.1126/sciadv.1501518

    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] アトミックカーボンチェン形成過程のその場TEM観察2017

    • 著者名/発表者名
      張 暁賓, 岩下 晋也, Marek Schmidt, Manoharan Muruganathan, 水田 博, 大島 義文
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] 高アスペクト比を持つサスペンデッドグラフェンナノリボンの自発的ローリング2017

    • 著者名/発表者名
      神崎 晃悠,シュミット マレク,ムルガナタン マノハラン,水田 博
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] トップゲート型グラフェンNEMS素子の作製と評価2017

    • 著者名/発表者名
      瀬戸 文博,ムルガナタン マノハラン,ワン ウェンゼン, シュミット マレク,水田 博
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] グラフェン上に吸着したCO2分子が及ぼす電荷移動とクーロン散乱による電流変化への影響2017

    • 著者名/発表者名
      加藤 大貴,ムルガナタン マノハラン,水田 博
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] KM Tarik Hasan, Arup Samanta, Adnan ,Afiff, Le The Anh, Muruganathan Manoharan, Masahiro Hori, Yukinori Ono, Hiroshi Mizuta, Michiharu Tabe, Daniel Moraru2017

    • 著者名/発表者名
      Study of Stability of A-few-donor Quantum Dots with Different Configurations for Room-Temperature Single-Electron Tunneling Operation
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] Study of Electron Localization Effects in Donor-Acceptor Pairs in Low-Dimensional Si Tunnel Diodes2017

    • 著者名/発表者名
      Gaurang Prabhudesai, Le The Anh, Mitsuki Shibuya, Muruganathan Manoharan, Masahiro Hori, Yukinori Ono, Hiroshi Mizuta, Michiharu Tabe, Daniel Moraru
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] First-principles study of inter-band tunnelling current through co-dopants in Si Nano-pn Tunnel Diodes2017

    • 著者名/発表者名
      Manoharan Muruganathan, Daniel Moraru, Michiharu Tabe, Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] An in-situ Annealing Study of Interlayer Conduction in Twisted Bilayer Graphene2017

    • 著者名/発表者名
      Jothiramalingam Kulothungan, Manoharan Muruganathan, Marek E. Schmidt, Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] 単一狭窄構造グラフェンナノリボンにおける単キャリアトランジスター操作の研究2017

    • 著者名/発表者名
      WANG Zhongwang,岩崎 拓哉,ムルガナタン マノハラン,水田 博
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] 三層グラフェンのヒステリシス現象2017

    • 著者名/発表者名
      岩崎 拓哉, ムルガナタン マノハラン,水田 博
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] サスペンデッドCVDグラフェンへのサブ10nmピッチ周期的ナノ孔構造の作製2017

    • 著者名/発表者名
      神崎 晃悠,シュミット マレク,ムルガナタン マノハラン,小川 真一,水田 博
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] Single-nanometer patterning of graphene by HIM for advanced applications2017

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Mizuta, Marek Schmidt, Teruhisa Kanzaki, Shinichi Ogawa, Manoharan
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会 シンポジウム「GFIS(電界電離ガスイオン源)ガスイオン顕微鏡技術とその材料・デバイス研究開発への応用:現状と今後の展望」
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
    • 招待講演
  • [学会発表] Interaction of gas field ionized nitrogen with silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Marek Edward Schmidt, Xiaobin Zhang, Yoshifumi Oshima, Le The Anh, Anto Yasaka,Teruhisa Kanzaki, Manoharan Muruganathan, Masashi Akabori, Tatsuya Shimoda, Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会 シンポジウム「GFIS(電界電離ガスイオン源)ガスイオン顕微鏡技術とその材料・デバイス研究開発への応用:現状と今後の展望」
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [学会発表] グラフェンNEMS技術の最近の展開 単分子センサーから熱フォノンエンジニアリングまで2017

    • 著者名/発表者名
      水田博, M. E. Schimidt, M. Muruganathan
    • 学会等名
      ナノ粒子・構造応用研究会 第14回公開講演会 ナノ材料のNEMS/MEMSへの展開
    • 発表場所
      日本化学会化学会館(東京都・千代田区)
    • 年月日
      2017-03-08 – 2017-03-08
    • 招待講演
  • [学会発表] Finite Element Method Simulation of Graphene Nano-Electro-Mechanical Contact Switches with Surface Trenches2017

    • 著者名/発表者名
      K. Jothiramalingam, M. Muruganathan, M. E.Schmidt, W. Wang, H. Mizuta
    • 学会等名
      IEEE Conference on Emerging Devices and Smart Systems (ICEDSS2017)
    • 発表場所
      マラサマドラン(インド)
    • 年月日
      2017-03-03 – 2017-03-04
    • 国際学会
  • [学会発表] Stress Analysis of Perforated Graphene Nanoelectromechanical (NEM) Contact Switches using 3D Finite Element Simulation for Mechanical Reliability Improvement2017

    • 著者名/発表者名
      Mohd Amir Zulkefli, Mohd Ambri Mohamed, Kim S. Siow, Burhanuddin Yeop Majlis, Jothiramalingam Kulothungan, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      Nanoscience and Nanotechnology
    • 発表場所
      シャーアラム(マレーシア)
    • 年月日
      2017-02-24 – 2017-02-27
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Graphene Nano-Electromechanical (GNEM) Device Technologies for Extreme Sensing and Other Advanced Applications2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, D. Kato, F. Seto, T. Kanzaki, K. Jothiramalingam, W. Wang, J. Sun, M. E. Schmidt and M. Muruganathan
    • 学会等名
      The 3rd IMEN-JAIST Joint Symposium on Nano-Bio Sensors
    • 発表場所
      セランゴール(マレーシア)
    • 年月日
      2016-12-14 – 2016-12-15
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electrical Tunable Localized States in Sub-Band of Bilayer Graphene Nanoribbon2016

    • 著者名/発表者名
      J. Sun, M. Muruganathan, K. Ishibashi and H. Mizuta
    • 学会等名
      The 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016)
    • 発表場所
      ANAクラウンプラザホテル京都(京都府・京都市)
    • 年月日
      2016-11-08 – 2016-11-11
    • 国際学会
  • [学会発表] Interraction of gas field ionized nitrogen with silicon2016

    • 著者名/発表者名
      M. E. Schmidt, Y. Oshima, L. T. Anh, X. Zhang, K. Teruhisa, M. Akabori, A. Yasaka, M. Muruganathan, T. Shimoda and H. Mizuta
    • 学会等名
      The 63rd AVS International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      ナッシュビル(アメリカ)
    • 年月日
      2016-11-06 – 2016-11-11
    • 国際学会
  • [学会発表] Recent progress of graphene-based nanoelectronic devices and NEMS for challenging applications2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, A. Hammam, J. Kulothungan, S. Suzuki, M. E. Schmidt, J. Sun and M. Muruganathan
    • 学会等名
      The International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT2016)
    • 発表場所
      杭州(中国)
    • 年月日
      2016-10-25 – 2016-10-28
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] High functional Graphene nano-electromechanical devices for single molecule detection2016

    • 著者名/発表者名
      Muruganathan Manoharan, Jian Sun, Tomoyuki Imamura, Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      2D Materials and Carbon Nanotube Workshop (2DMC2016)
    • 発表場所
      バンギ(マレーシア)
    • 年月日
      2016-10-17 – 2016-10-18
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Highly Functional Graphene Nano-Electromechanical (GNEM) Devices for Advanced Switch and Sensor Applications2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, J. Sun, M. E. Schmidt and M. Muruganathan
    • 学会等名
      The Symposium on Emerging Nanomaterials and Devices, PRiME 2016/230th ECS Meeting
    • 発表場所
      ホノルル(アメリカ)
    • 年月日
      2016-10-02 – 2016-10-07
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Static and Dynamic Contacts in Graphene Nano-Electro-Mechanical (NEM) Switches2016

    • 著者名/発表者名
      W. Wang, M. Muruganathan, and H. Mizuta
    • 学会等名
      The 48th Solid State Devices and Materials (SSDM2016)
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県・つくば市)
    • 年月日
      2016-09-26 – 2016-09-29
    • 国際学会
  • [学会発表] Helium ion milling of HSQ covered graphene: Control of substrate swelling and imaging disorder2016

    • 著者名/発表者名
      Marek Schmidt, Ahmed Hammam, Manoharan Muruganathan, Shinichi Ogawa and Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] チップ増強ラマン分光法によるグラフェンの局所ドーピング変化の検出2016

    • 著者名/発表者名
      岩﨑 拓哉, Taharh Zelai, Sheng Ye, Harold M. H. Chong, 土屋 良重, 水田 博
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] Electrical and Mechanical Characteristics of Nanocrystalline Graphene Nano-Electro-Mechanical Switches2016

    • 著者名/発表者名
      Jothiramalingam Kulothungan, Manoharan Muruganathan, Marek Schmidt and Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] Signature of individual Gas Molecules Absorbed on Graphene2016

    • 著者名/発表者名
      Manoharan Muruganathan, Jian Sun and Hiroshi Mizuta
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] 三層グラフェン電界効果トランジスタの輸送特性におけるアニール効果2016

    • 著者名/発表者名
      岩﨑 拓哉, Manoharan Muruganathan, Marek Schmidt, 水田 博
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] Effect of coupling of a few donor-atoms as a quantum dot for single-electron tunneling operation at room temperature2016

    • 著者名/発表者名
      Daniel Ioan Moraru, Arup Samanta, Tarik Hasan, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta and Michiharu Tabe
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] グラフェンフォノニックデバイスに向けたシングルナノメータ周期的ナノ孔構造の作製2016

    • 著者名/発表者名
      神崎 晃悠, シュミット マレク, ムルガナタン マノハラン, ハマム アーメド, 水田 博
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] Novel suspended graphene devices for extreme sensing2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, J. Sun and M. Muruganathan
    • 学会等名
      The ESSCIRC - ESSDERC 2016
    • 発表場所
      ローザンヌ(スイス)
    • 年月日
      2016-09-12 – 2016-09-15
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Graphene-based nanoelectronic and nano-electro-mechanical (NEM) devices for challenging applications2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, A. Hammam, J. Kulothungan, S. Suzuki, M. E. Schmidt, J. Sun and M. Muruganathan
    • 学会等名
      Nanonet International Workshop 2016
    • 発表場所
      プラハ(チェコ)
    • 年月日
      2016-08-30 – 2016-09-02
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Development of a TEM holder for electronic conductance measurement of suspended graphene nanoribbons2016

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, Y. Oshima, S. Iwashita, Manoharan Muruganathan, M. Schmidt and H. Mizuta
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress
    • 発表場所
      プサン(韓国)
    • 年月日
      2016-08-21 – 2016-08-26
  • [学会発表] Recent progress of graphene-based nanoelectronic and NEM device technologies for advanced applications2016

    • 著者名/発表者名
      H. Mizuta, A. Hammam, S. Suzuki, J. Kulothungan, M. E. Schmidt, J. Sun and M. Muruganathan
    • 学会等名
      The 2th IEEE International Conference on Semiconductor Electronics (IEEE-ICSE2016)
    • 発表場所
      クアラルンプール(マレーシア)
    • 年月日
      2016-08-17 – 2016-08-19
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Graphene NEMS-based sensors and switches2016

    • 著者名/発表者名
      M. Muruganathan, J. Sun, J. Kulothungan and H. Mizuta
    • 学会等名
      Nanoelectronics & Nanotechnology Group Annual Conference 2016 "Sensors"
    • 発表場所
      サザンプトン(イギリス)
    • 年月日
      2016-07-01 – 2016-07-01
    • 国際学会
  • [学会発表] Graphene tunnel transistors for ultra-low-power applications2016

    • 著者名/発表者名
      A. Hammam, M. E. Schmidt, M. Muruganathan and H. Mizuta
    • 学会等名
      Nanoelectronics & Nanotechnology Group Annual Conference 2016 "Sensors"
    • 発表場所
      サザンプトン(イギリス)
    • 年月日
      2016-07-01 – 2016-07-01
    • 国際学会
  • [学会発表] Simultaneous conductance measurement and TEM observation of graphene nanoribbon2016

    • 著者名/発表者名
      Xiaobin Zhang, Shinya Iwashita, Marek E. Schmidt, Manoharan Muruganathan, Hiroshi Mizuta and Yoshifumi Oshima
    • 学会等名
      Japanese Society of Microscopy 2016 Meeting
    • 発表場所
      仙台国際センター(宮城県・仙台市)
    • 年月日
      2016-06-14 – 2016-06-16
  • [学会発表] Recent progress in helium-ion-based nanofabrication for advanced graphene device applications2016

    • 著者名/発表者名
      M. E. Schmidt, O. Takechi, M. Muruganatan, A. Hammam, T. Kanzaki, S. Ogawa and H. Mizuta
    • 学会等名
      The 1st International Conference on Helium Ion Microscopy and Emerging Focused Ion Beam Technologies (HEFIB 2016)
    • 発表場所
      ルクセンブルク(ルクセンブルク)
    • 年月日
      2016-06-08 – 2016-06-10
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2018-01-16  

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