| 研究課題/領域番号 |
16K13650
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
水田 博 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 教授 (90372458)
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| 連携研究者 |
ムルガナタン マノハラン 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 講師 (20639322)
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| 研究協力者 |
シュミット エドワード・マレク 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 博士研究員
ハック マイーシャ マスルラ 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | グラフェン / NEMS / フォノン / フォノニック結晶 / 超微細加工 / ヘリウムイオンビーム |
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| 研究成果の概要 |
原子層材料グラフェンNEMS（ナノ電子機械システム）技術と、ビーム径～0.3 nmの収束He+ビームによってグラフェンを直接ミリング加工するシングルナノメータ加工技術を融合させ、宙吊りにした両持ちグラフェン梁（長さ・幅100 nm～1 ミクロンスケール）上に直径3 ～4 nmのナノ孔の２次元アレイ（グラフェンフォノニック結晶：GPｎC）素子を高速で作製することに成功した。また、GPnC構造におけるフォノニックバンドギャップ形成の様子を大規模有限要素解析と原子スケールフォノン計算によって明らかにした。
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| 自由記述の分野 |
ナノエレクトロニクス、NEMS
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