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SEM-EBSD法は多結晶の半導体や金属に対する結晶方位や結晶粒およびその粒界評価を行いたいという要求により発展してきた技術である．そのことから，本研究で目的とするバルクの半導体結晶の評価には全く視点が向けられてこなかった．本研究で着目した菊池線パターン自体を用いて結晶の均質性等を評価する研究は学術的に新たな研究領域を開拓したと考えられる．
また，SEMによる電子線の微細スポット径を用いることで従来の結晶性評価技術では困難な領域の結晶性評価が可能であることを示した．すなわち提案法による評価により更なる学術的発見が期待でき，更なる結晶性品質の向上につながる新しい展開を生み出すと考えられる．
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