針状試料を用いる必要のない新しい3次元アトムプローブの原理検証

2017 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 16K13685
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 後藤 康仁 京都大学, 工学研究科, 准教授 (00225666)
• 研究期間 (年度): 2016-04-01 – 2018-03-31
• キーワード: アトムプローブ / 静電拡大投影 / 短焦点距離 / 平坦 / 倍率

研究成果の概要

針状構造の試料作製が必要なアトムプローブトモグラフィにおいて、平坦な試料を用いることのできる手法について検討した。試料を針状とする代わりに、平坦な試料に対向電極を近接させることで極めて短焦点距離の発散性静電レンズを形成することで、アトムプローブに匹敵する高い静電拡大投影の倍率が得られることが計算機実験を通して明らかとなった。またこれを実現するための電極を設計・製作し、予備的な実験を行った。

自由記述の分野

真空電子工学