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2016 年度 実施状況報告書

電波天文のための超伝導大規模集積回路の基礎技術開発研究

研究課題

研究課題/領域番号 16K13789
研究機関国立天文台

研究代表者

井口 聖  国立天文台, チリ観測所, 教授 (10342627)

研究分担者 小嶋 崇文  国立天文台, 先端技術センター, 助教 (00617417)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワード超伝導 / 集積回路 / SIS / 電波天文 / マルチビーム / 広視野
研究実績の概要

本年度は、高品質(高Rsg/Rn)かつ高臨界電流密度(高Jc)のSIS接合の作製と高周波特性評価、シングルビーム用超伝導集積回路の設計を行った。
ヘテロダイン受信機の集積回路化においては、超伝導体で構成される要素回路を歩留まりよく製作し、その回路パラメータを高精度に抑えておく必要がある。特にSIS接合は様々な臨界電流密度Jcにおいて、リーク電流の低い高品質な接合が必要となる。そして、本年度は、AlNを絶縁層に用いたNb接合を作製し、Jc <45 kA/cm2という従来よりも5倍に高いJcでも、Rsg/Rn > 15という高品質な接合の作製に成功することができた。また、透過型電子顕微鏡を用いてSIS接合の断面解析を実行し、この接合がウエハ上で均質に作製されていることを確認した。以上より、今後、超伝導集積回路化する場合においても、自由度の高い設計が可能になることが期待され、さらに高い歩留まりで作製できる見通しを得ることができた。また、Nb/AlNx/Nb接合では、従来用いてきたAlOx絶縁層に対して、キャパシタンス等のRF特性が異なる懸念があった。そして、当接合は、知られる限りキャパシタンス値が直接的に測定された例がなく、現状では高精度な回路設計が困難であった。そこで、冷却プローブステーションを用いて、その測定を開始し、Jc = 45 kA/cm2における単位面積当たりのキャパシタンス値 (Cs)を測定することに成功した。
シングルビーム用超伝導集積回路の設計については、超伝導体を電極材料として用いた平面回路型直交偏波分離器やサイドバンド分離型バランスドSISミクサ回路を設計し、数mm角の基板上に回路を集積でき、従来の導波管回路と比べて非常にコンパクトにシステムを配置構成できる設計解を得た。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

H28年度は、H29年度以降のマルチビーム用超伝導集積回路を用いたマルチビーム受信機開発の実現を見据え、(1)超伝導要素回路の作製・高精度評価、(2)シングルビーム用超伝導集積回路の設計、を計画として進めてきた。(1)超伝導要素回路の作製・精度評価については、様々な範囲の臨界電流密度に対して高品質のSIS接合が作製可能となり、マルチビーム化の際の作製歩留まりの確保に見通しを得るなど、着実な進展があった。また、冷却プローブステーションを用いた超伝導回路パラメータの直接評価を順次進めることができた。(2) シングルビーム用超伝導集積回路では、基本設計が完了しており、デバイス作製も開始することができた。超伝導要素回路および超伝導集積回路の両面から、デバイス作製および高精度評価手法などの検討を進めており、概ね当初の計画を進めることができた。また、これまでの成果をまとめ、関連する学会誌への論文投稿、関連する主要国際会議での成果発表、国内では応用物理学会やワークショップに参加し、成果発表をするなど、精力的に成果報告および研究交流を実施することができた。H29以降も超伝導回路の作製と評価を継続することで実験データを蓄積し、超伝導回路設計にフィードバックしていく。そして、様々な超伝導要素回路を作製評価し、集積回路設計手法の確立を目指す。
以上、H28年度は、当初計画どおり、順調に本研究課題を進展することができた。

今後の研究の推進方策

計画通り、H29 年度は、H28年度までに確立した設計指針を元に超伝導集積回路を再設計し、さらなる性能向上を目指すべく、シングルビーム用の性能評価を継続する。そして、マルチビーム用超伝導大規模集積回路を設計し、H28年度に抽出した条件に基づいて、集積回路チップを作製する。さらに、マルチビーム用集積回路実装筐体を設計製作し、ヘテロダイン受信モジュールとして性能評価し、マルチビーム化に向けた課題を抽出する。
さらに、研究体制を強化するために、マルチビーム化に向けた技術開発では国立天文台先端技術センター・Shan Wenlei 准教授を、また広視野観測の実現に向けた科学検討では愛媛大学宇宙進化研究センター・大西響子 研究員を、研究協力者として本研究課題に参加してもらう。
継続して、国内外の学会や研究会にて参加し、多くの研究分野の研究者達と活発な議論を交わし、広視野高分解能電波天文観測の実現に向けた基礎技術の基盤を構築することを目指す。

次年度使用額が生じた理由

今年度の当初執行計画では、海外での国際発表を行うための旅費、そして物品購入、その他で分類される箇所で予定を立てていた。しかし、より研究を確実に進めるため、設計および製造依頼での物品購入をして精密測定評価を外注するのではなく、一括で外注して「TEMによるNb/AlN/Nb接合の断面観察」をすることとした。そのため、経費が物品購入とその他の積算値である 50万円より高くなり、約56万円となった。一方、海外への航空券は季節に依存するだけに計画通り進めることは難しいが、当初予定であった50万円より安く、約43万円ですむことができた。結果、収支としては約1万円、正確な数値としては 8,683円が残ることとなった。
すでに本年度の当初目的がすべて完了したことから、これ以上の執行をすることはせず、最終的に確定された額 8,683円を次年度に持ち越すこととした。

次年度使用額の使用計画

次年度も、海外での研究会への参加などを計画している。この繰越された8,683円はそれらに組み込みたい。特に、航空券は、季節等に大きく左右されるだけに、この繰越は非常に有用であると考える。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 オープンアクセス 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 7件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] On-wafer Capacitance Measurement of Nb-based SIS Junctions with a 4-K Probe Station2017

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Kojima, Matthias Kroug, Konomi Sato, Takeshi Sakai, Yoshinori Uzawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Applied Superconductivity

      巻: 27 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/TASC.2017.2657693

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Large aperture millimeter/submillimeter telescope: which is more cost-effective, aperture synthesis telescope versus large single dish telescope?2016

    • 著者名/発表者名
      Satoru Iguchi, Masao Saito
    • 雑誌名

      Proceedings of the SPIE

      巻: 9906 ページ: 99062T, 1-9

    • DOI

      10.1117/12.2232022

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 冷却プローブステーションを用いたSIS接合のキャパシタンス評価2017

    • 著者名/発表者名
      佐藤 楽, 小嶋 崇文, Matthias Kroug, 酒井 剛, 鵜澤 佳徳
    • 学会等名
      第17回ミリ波サブミリ波受信機ワークショップおよび第3回理研NICT合同テラヘルツワークショップ
    • 発表場所
      情報通信研究機構, 小金井, 東京
    • 年月日
      2017-02-27 – 2017-02-28
  • [学会発表] Superconducting Receivers for ALMA Radio Telescope and Future Development2016

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Kojima, Alvaro Gonzalez, Matthias Kroug, Yasunori Fujii, Keiko Kaneko, Wenlei Shan, Shinichiro Asayama, Yoshinori Uzawa, Kazumasa Makise, Hirotaka Terai, Zhen Wang
    • 学会等名
      29th International Symposium on Superconductivity
    • 発表場所
      Tokyo International Forum, Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-12-13 – 2016-12-15
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Capacitance Measurements of Niobium SIS Junctions at Microwave Frequencies2016

    • 著者名/発表者名
      Konomi Sato, Takafumi Kojima, Matthias Kroug, Takeshi Sakai and Yoshinori Uzawa
    • 学会等名
      29th International Symposium on Superconductivity
    • 発表場所
      Tokyo International Forum, Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-12-13 – 2016-12-15
    • 国際学会
  • [学会発表] Niobium SIS Junction Technology for Sub-mm Wave Mixers2016

    • 著者名/発表者名
      Matthias Kroug, Mizuki Ikeya, Takafumi Kojima, Takeshi Noguchi
    • 学会等名
      29th International Symposium on Superconductivity
    • 発表場所
      Tokyo International Forum, Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-12-13 – 2016-12-15
    • 国際学会
  • [学会発表] 冷却プローブステーションを用いたSIS 接合のキャパシタンス測定2016

    • 著者名/発表者名
      小嶋崇文, Matthias Kroug, 酒井剛, 鵜澤佳徳
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟, 新潟
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] High Current Density SIS Mixers for the 400-500 GHz Band2016

    • 著者名/発表者名
      Matthias Kroug, Kazunori Uemizu, Shohei Ezaki, Yasuaki Niizeki, Takafumi Kojima
    • 学会等名
      2016 URSI Asia-Pacific Radio Science Conference
    • 発表場所
      Grand Hilton Seoul Hotel, Seoul, Korea
    • 年月日
      2016-08-21 – 2016-08-25
    • 国際学会
  • [学会発表] Atacama Large Millimeter/submillimeter Array, ALMA; the Status of Operations and Future Development2016

    • 著者名/発表者名
      Satoru Iguchi
    • 学会等名
      Astronomy Development in Vietnam Workshop
    • 発表場所
      Quy Nhon University, Quy Nhon, Vietnam
    • 年月日
      2016-07-31 – 2016-08-02
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Millimeter and Sub-mm Wave Instrumentation Development for ALMA at NAOJ/Chile Observatory2016

    • 著者名/発表者名
      Alvaro Gonzalez
    • 学会等名
      Astronomy Development in Vietnam Workshop
    • 発表場所
      Quy Nhon University, Quy Nhon, Vietnam
    • 年月日
      2016-07-31 – 2016-08-02
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Development of SIS mixers for future receivers at NAOJ2016

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Kojima
    • 学会等名
      ALMA Developers' Workshop
    • 発表場所
      Chalmers University, Gothenburg, Sweden
    • 年月日
      2016-05-25 – 2016-05-27
    • 国際学会

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公開日: 2018-01-16  

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