| 研究課題/領域番号 |
16K13816
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
物性Ⅰ
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
白澤 徹郎 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 物質計測標準研究部門, 主任研究員 (80451889)
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| 連携研究者 |
高橋 敏男 東京学芸大学, 教育学部, 研究員 (20107395)
松下 正 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 名誉教授 (40092332)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | X線散乱 / 逆空間マッピング / 薄膜 / ナノ構造 |
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| 研究成果の概要 |
高速Ｘ線3次元逆空間マッピング法の開発を行った。波長分散集束Ｘ線を用いて迅速測定した複数の2次元Ｘ線散漫散乱画像データから、逐次近似法による繰り返し計算により3次元逆空間マッピングを再生するための解析アルゴリズムを開発するとともに、高詳細マップを得るための集光光学系の改良を行った。これら開発により、単色平行Ｘ線と位置敏感型2次元Ｘ線検出器を用いた最新の高速法に比べて、少なくとも2倍程度の高測化が達成された。また、解析アルゴリズムの改良によりさらなる高速化が可能であることが示唆された。
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| 自由記述の分野 |
Ｘ線散乱、表面科学
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