|
ブロック共重合体（BCP）薄膜における誘導自己組織化（DSA）について、大気圧走査電子顕微鏡（ASEM）を用いて相分離構造形成のメカニズムを明らかにした。２年間の研究で以下の成果を得た。(1)２つのブロック鎖間の電子密度差の大きいPoly(styrene-b-ferrocenyldimethylsilane)(PS-b-PFS)を用いたところ、ミクロ相分離構造を無染色で観察できることが分かった。(2) PS-b-PFSのトルエン溶液を用いてミクロ相分離構造の形成過程の直接観察したところ、溶媒蒸発の最終段階で相分離構造が形成され、溶媒蒸発方向に配向してミクロ相分離構造が形成されることが分かった。
|
