ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)を用いたアクティブ電圧コントラスト(AVC)画像化と、電位を定量的に評価できるケルビンプローブフォース顕微鏡を用いた接触電位差画像化とを組み合わせ、新しい電位分布計測手法の開発を行うことができた。In-situ電圧印加機構をHIM装置に導入し、試料に任意の電圧(±5 V)印加が可能になった。積層型セラミックスコンデンサへの印加電圧が1.5 V以下の際、二次電子(SE)像に電位を反映したAVCが観察できた。試料提供を受けることのできたペロブスカイト太陽電池のHIM観察を行った。有機材料が含まれているが、金属吸着を行わなくてもSE像を取得できた。
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