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2017 年度 研究成果報告書

ダイヤモンド表面を原子レベルに平坦化するイオンアシスト表面拡散研磨法の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 16K14124
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東北大学

研究代表者

小川 修一  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (00579203)

連携研究者 高桑 雄二  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20154768)
研究協力者 阿加 賽見  
杉本 倫太朗  
橋本 晋  
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
キーワード光電子制御プラズマ / 表面平坦化 / 精密加工 / ダイヤモンド / 低エネルギーイオンビーム
研究成果の概要

ダイヤモンド表面を原子スケールで平坦化するために、光電子制御プラズマイオン源を用いた低速イオンビームの生成機構を調べた。ダイヤモンド表面に水素が吸着することによって光電子が放出しやすくなり、平坦化に適した低速イオンビームを生成できることがわかった。また高価なダイヤモンド基板に替わって、安価なダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を用いた平坦化実証実験を行うため、DLCの成長メカニズムを明らかにした。

自由記述の分野

表面工学

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公開日: 2019-03-29  

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