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2017 年度 実施状況報告書

非常に滑らかな切断加工のための中赤外ベクトルビームの発生と縦電場生成への挑戦

研究課題

研究課題/領域番号 16K14125
研究機関宇都宮大学

研究代表者

東口 武史  宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80336289)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワードベクトルビーム / 偏光解析 / 中赤外レーザー / 近赤外レーザー
研究実績の概要

本研究では,中赤外レーザーの波長依存のない高出力・高エネルギーベクトルビームを簡便な方法で生成する。このビームをレンズで集光することで,縦電場を発生させ,焦点深度が深い低エネルギー閾値材料加工を実現することに挑戦し,省エネ化に貢献することを目的としている。
平成29年度は,ベクトルビームを集光することによる縦電場の発生と切断加工実験を目指し,研究を展開した。ただ,この研究を進めるために,中赤外領域アクロマティック軸対称波長板から出射されるベクトルビームの偏光状態を解析する必要がある。しかしながら,偏光解析を進めるために,幾つかの未知数を決定する必要に迫られた。そこで,アクロマティック同軸波長板を用いて,偏光解析をするとともに,数値解析により偏光状態を予測することにした。このことによりレンズで集光されたときのベクトルビームの変化を数値計算することができる。平成29年度は,偏光解析技術も並行して進めた。
実験では,炭酸ガスレーザーのベクトルビームを解析し,光渦であることを確認した。また,渦成分を抑制する方法について,理論的に検討し,実際に製作できるかどうかも検討した。
これらに加えて,炭酸ガスレーザーによる方法の他,波長を短くし,近赤外光でも加工実験ができるように,高繰り返し高平均出力の小型のアクティブミラーレーザーを開発し,平均出力が8 Wであることを確認した。このことにより,中赤外レーザーと近赤外レーザーの加工実験の比較ができるようになると考えている。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

研究実績の概要でも述べたように,中赤外レーザーの波長依存のない高出力・高エネルギーベクトルビームを簡便な方法で生成する。このビームをレンズで集光することで,縦電場を発生させ,焦点深度が深い低エネルギー閾値材料加工を実現することに挑戦し,省エネ化に貢献することを目的としている。このため,中赤外レーザーのベクトルビーム発生と偏光解析技術を確立するとともに,申請書にはなかった近赤外レーザーの開発の進展があったことから,加工特性の波長依存性も観測することができるようになったことから,大まかにみると,この区分でよいのではないかと考えている。

今後の研究の推進方策

予定通り,ベクトルビームを集光し,集光点で縦電場を発生させる。ベクトルビームを入射すると,光電場の合成ベクトルは従来の偏光とは異なるビームになることから,従来のレーザー切断加工とも異なる新奇の切断面をもち,低エネルギー加工,超深度加工などに適用できると期待される。切断面の観察には,電子顕微鏡やレーザー顕微鏡(いずれも大学内の機器分析センター所有)を用いることにしている。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2018 2017 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [国際共同研究] HiLASE Centre(チェコ)

    • 国名
      チェコ
    • 外国機関名
      HiLASE Centre
  • [雑誌論文] Generation of the determined vectorial vortex beams by use of an achromatic axially symmetric waveplate2017

    • 著者名/発表者名
      Toshitaka Wakayama, Takeshi Higashiguchi, and Yukitoshi Otani
    • 雑誌名

      Optical Review

      巻: 24 ページ: 449-461

    • DOI

      https://doi.org/10.1007/s10043-017-0315-1

    • 査読あり
  • [学会発表] 材料加工応用に向けたコヒーレント軟X線レーザーによる表面アブレーション2018

    • 著者名/発表者名
      錦野 将元,石野 雅彦,T-H Dinh,長谷川 登,Faenov A,Pikuz T,市丸 智,木下 博雄,坂上 和之,東口 武史,犬伏 雄一,今 亮,大和田 成起,羽多野 忠,鷲尾 方一,末元 徹,河内 哲哉
    • 学会等名
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] Demonstration of laser oscillation of an Yb-doped Y2O3 composite disk by use of atomic diffusion bonding in room temperature2017

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Higashiguchi, Syun Yamauchi, Yusuke Fujii, Natsumi Shinozaki, Takuto Ogura, Miyuki Uomoto, Takehito Shimatsu, Taisuke Miura, and Tomas Mocek
    • 学会等名
      2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
    • 国際学会
  • [学会発表] フェムト秒極端紫外レーザー光による有機薄膜のアブレーションに関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      坂上 和之,石野 雅彦,井谷 俊郎,犬伏 雄一,市丸 智,大和田 成起,小倉 拓人,木下 博雄,小柴 裕也,今 亮,Julius Santillan,篠崎 夏美,高橋 孝,田村 賢紀,Dinh-Thanh Hung,錦野 将元,西留 武宏,羽多野 忠,原 広行,東口 武史,山内 駿.鷲尾 方一
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション2017

    • 著者名/発表者名
      市丸 智,錦野 将元,石野 雅彦,木下 博雄,犬伏 雄一,東口 武史,鷲尾 方一,坂上 和之,大和田 成起,羽多野 忠,畑山 雅俊,大知 渉之,Dinh-Thanh Hung,今 亮,原 広行,山内 駿,小倉 拓人,篠崎 夏美,小柴 裕也,高橋 孝,西留 武宏,奥 哲
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション2017

    • 著者名/発表者名
      石野 雅彦,ヂン タンフン,ファエノフ アナトリ,犬伏 雄一,市丸 智,大和田 成起,河内 哲哉,木下 博雄,今 亮,坂上 和之,末元 徹,ピクツ タチアナ,保 智己,錦野 将元,長谷川 登,羽多野 忠,東口 武史,鷲尾 方一
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] ラジアル偏光内の渦成分の低減2017

    • 著者名/発表者名
      若山 俊隆,東口 武史,坂上 和之,鷲尾 方一,大谷 幸利
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] ベクトルビームの偏光分布のシングルショット決定2017

    • 著者名/発表者名
      若山 俊隆,東口 武史,坂上 和之,鷲尾 方一,大谷 幸利
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 渦成分を低減したラジアル偏光ビームの実証2017

    • 著者名/発表者名
      若山 俊隆,東口 武史,坂上 和之,鷲尾 方一,大谷 幸利
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 渦成分を低減したラジアル偏光の実証2017

    • 著者名/発表者名
      若山 俊隆,坂上 和之,東口 武史
    • 学会等名
      高強度レーザー・ビーム技術と短波長光源に関する研究会

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公開日: 2018-12-17   更新日: 2022-02-22  

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