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2017 年度 研究成果報告書

複数開口ナノピペットプローブを用いた液中環境での3次元微細立体造形法の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 16K14131
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関静岡大学

研究代表者

岩田 太  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (30262794)

連携研究者 中尾 秀信  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (80421395)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
キーワード走査型イオン伝導顕微鏡 / ナノピペット / ナノ加工 / 電気泳動堆積 / ナノ微粒子
研究成果の概要

本研究は液中環境で動作可能な走査型イオン伝導顕微鏡のナノピペットプローブ(先端にサブミクロン以下の微細開口を有するキャピラリーガラス管)を用いてナノスケールの微粒子や材料を3次元的に基板上に堆積させる新奇な微細立体造形法を開発することである.複数開口を有するナノピペットを用いることで,イオン電流検出によるピペット先端と基板間の位置決め・距離制御を行いながら,ピペットに充填したコロイド状ナノ微粒子の電気泳動堆積による立体造形を実現した.液中環境での動作により,ピペット先端開口での乾燥や詰まりがない再現性の高い加工を可能にした.

自由記述の分野

精密工学

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公開日: 2019-03-29  

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