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本研究では、極限環境下で適用可能なルミネッセント・アネモメータの開発を目指した。その目的の下、センサを様々な極限環境下で評価可能な評価試験用較正チャンバーの開発を行った。また、併せてセンサの開発も進め、センサの作成条件がセンサ特性に及ぼす影響を評価した。
本研究の結果、真空環境下から10気圧程度までの幅広い圧力環境下においてセンサを評価可能な較正チャンバーの開発に成功した。また、開発した較正チャンバーを用いて開発した幾つかのセンサについて特性評価を行った。結果として、低圧環境下などの特定の使用環境下において高い性能を有するセンサの開発に成功した。
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