| 研究課題/領域番号 |
16K14237
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
山田 英明 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 研究員 (90443233)
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| 研究分担者 |
金 載浩 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (30376595)
榊田 創 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ長 (90357088)
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| 連携研究者 |
榊田 創 産業技術総合研究所, 電子光技術研究部門, 研究グループ長 (90357088)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| キーワード | ダイヤモンド / プラズマCVD / マイクロストリップラインプラズマ |
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| 研究成果の概要 |
マイクロストリップラインプラズマ源を用いて単結晶・多結晶ダイヤモンド合成を実施した。従来のプラズマ源では、原料ガス温度が高温である点や、合成領域が波長で制限されるなどの課題があるが、本手法では、これらの課題を克服できる可能性がある。実際に合成装置を構築し、安定な放電と、ダイヤモンド合成を確認した。原料ガス温度は従来のプラズマ源と比較して極めて低温であることも確認し、先に述べた従来手法の課題を原理的に克服できることを実証した。
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| 自由記述の分野 |
ダイヤモンド、プラズマ
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