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2017 年度 研究成果報告書

原子層状TMDCチャネル2D-MISFETの3D構造化への挑戦

研究課題

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研究課題/領域番号 16K14247
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関東京工業大学

研究代表者

若林 整  東京工業大学, 工学院, 教授 (80700153)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
キーワード2次元層状半導体膜 / 遷移金属ダイカルコゲナイド / 二硫化モリブデン / 3次元成長 / 2次元成長 / 核形成
研究成果の概要

原子層状半導体の遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)を用いた二次元チャネル電界効果型トランジスタ(2D-MISFET)について、超高真空RFマグネトロンスパッタ法による二硫化モリブデン(MoS2)膜は、金属Dot側壁において基板表面法線方向3次元Fin形状が断面TEMで観察されたが、制御性に欠ける。一方、下地基板表面粗さによる結晶性の乱れをトリガーにしたMoS2 Fin形状を確認した。またRaman分光法によりその内部応用力は小さく、結晶性が高いことを確認した。以上、三次元MoS2膜を実現するには、パターニング部からの核発生よりも、TMDC膜の粒界制御の方が有効であることを見出した。

自由記述の分野

電子デバイス

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公開日: 2019-03-29  

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