テラヘルツ(THz)近接場光を利用し、ピコリットルオーダーでの超微量分析とフェムトモルオーダーの感度を有するマイクロチップを開発した。具体的には、THz波源としてGaAs(110)を用い、近接した微小流路構造を作製し、溶液試料とTHz波源が一体化したTHzマイクロチップとした。GaAs表面にメタマテリアル構造を有するチップを作製し、高感度化を図った。さらにマイクロチップを使い捨て可能にすることを目的に、ポリジメチルシロキサン(PDMS)に流路を形成し、GaAs表面に貼り付けたマイクロチップを作製した。新規マイクロチップで、生体成分の水溶液を測定して評価した。
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