• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2018 年度 実績報告書

ナノ微結晶ダイヤモンド膜へのスピン注入

研究課題

研究課題/領域番号 16K14391
研究機関九州大学

研究代表者

吉武 剛  九州大学, 総合理工学研究院, 准教授 (40284541)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワードスピンバルブ / ナノダイヤモンド / スピン注入 / 局所配置 / 非局所配置 / 電子線リソグラフィー / 鉄シリサイド / 同軸型アークプラズマ堆積法
研究実績の概要

原子番号が小さいほどスピン軌道相互作用は小さく,軽元素ほど長いスピン拡散長が期待され,カーボンから成るグラフェンやカーボンナノチューブが1 μm以上のスピン拡散長を期待されて活発に研究されているが,ダイヤモンド系材料に関する研究はまだ殆ど無い.ナノダイヤモンド(NCD)半導体を中間層としたスピンバルブ素子を作製して,ナノダイヤモンド内のスピン拡散長を明らかにすることを目的として研究を行った.
Fe/UNCD/Fe3Si縦型構造の素子をマスク法で作製した.具体的には,Si(111)基板上にスパッタリング法でFe3Si層をエピタキシャル成長した後,超ナノ微結晶ダイヤモンド(UNCD)膜を同軸型アークプラズマ堆積法で堆積し,最上層にFe層をスパッタリング法で堆積してFe/UNCD/Fe3Si構造とした.TEM観察から,積層界面で原子拡散は起こるものの,UNCD層は層構造を保って堆積できていることを確認した.試作したNCD層厚60 nmの試料で,磁化曲線から強磁性層間の平行・反平行状態の実現,さらにはそれに対応したスピンバルブ信号を室温で観測した.その一方で100 nm程度でNCD層は剥離してしまい,1μm以上のNCD層を形成するのは技術的に困難であることがわかった.
そこで,NCD膜上の強磁性電極間に微細なギャップ幅を有した横型スピンバルブ素子の創製にも取り組んだ.ギャップ幅は,電子線リソグラフィーにより作製したレジスト細線パターンをリフトオフすることで形成した.200 nm~1 μm幅の形成を実現し,局所配置によりスピンバルブ信号の観測に成功した.逆スピンバルブ信号が観測される場合がありその起源を調査中である.スピン拡散長のNCD層の伝導型やキャリア濃度との関連を今後調べていく.

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2019 2018

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (7件)

  • [雑誌論文] Fabrication of lateral-type spin-valve comprising FeSi2 spin-transfer layers by electron beam lithography2019

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Ishimoto, Kazuki Kudo, Tetsuo Tabei, Kazushi Okada, Shinji Yamada, Tadashi Sato, Ken-ichiro Sakai, and Tsuyoshi Yoshitake
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Series

      巻: - ページ: 印刷中

    • 査読あり
  • [学会発表] ナノダイヤモンド半導体層から成るスピンバルブ素子の作製と評価2018

    • 著者名/発表者名
      坂井拓也,石本浩起,竹市悟志,工藤和樹,堺研一郎,吉武剛
    • 学会等名
      平成30年度応用物理学会九州支部学術講演会,平成30年12月8~9日,福岡大学七隈キャンパス
  • [学会発表] 電子線リソグラフィーを利用したFe-Si系横型スピンバルブ素子の作製2018

    • 著者名/発表者名
      吉武剛
    • 学会等名
      第3回 広島大学・山口大学・香川大学・FAIS 合同シンポジウム,平成30年12月4日,小倉AIMビル
  • [学会発表] Structural Evaluation of Spin-Valves Comprising B-Doped Carbon Interlayers2018

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Ishimoto, Satoshi Takeichi, Kazuki Kudo, Ken-ichiro Sakai, and Tsuyoshi Yoshitake
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 25 - 30, 2018, Boston, Massachusetts
  • [学会発表] Spin Injection into Epitaxially-Grown β-FeSi2 in Lateral Structural Spin-Valves2018

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Ishimoto, Tetsuo Tabei, Ken-ichiro Sakai and Tsuyoshi Yoshitake
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 25 - 30, 2018, Boston, Massachusetts
  • [学会発表] 室温下における鉄シリサイド半導体中へのスピン流の生成2018

    • 著者名/発表者名
      堺 研一郎、石本 浩起、浅井 勇輝、石橋 和也、田部井 哲夫、西嶋 雅彦、吉武 剛
    • 学会等名
      2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会,2018年9月18-21日,名古屋国際会議場
  • [学会発表] 電子線リソグラフィー法による横型スピンバルブ素子の創製とエピタキシャルbeta-FeSi2層への電気的スピン注入2018

    • 著者名/発表者名
      堺 研一郎,石本 浩起,田部井 哲夫,吉武 剛
    • 学会等名
      2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会,2018年9月18-21日,名古屋国際会議場
  • [学会発表] エピタキシャルb-FeSi2層から成る横型スピンバルブ素子の作製2018

    • 著者名/発表者名
      坂井 拓也,石本 浩起,田部井 哲夫,堺 研一郎,吉武 剛
    • 学会等名
      第18回シリサイド系半導体・夏の学校,2018年7月21日(土)~ 22日(日),静岡県立森林公園森の家

URL: 

公開日: 2019-12-27  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi