2016 年度研究成果報告書

超薄液膜反応セルを用いたVUV表面改質：酸化グラフェンの還元-欠陥修復

研究課題

研究課題/領域番号	16K14404
研究種目	挑戦的萌芽研究
配分区分	基金
研究分野	複合材料・表界面工学
研究機関	京都大学
研究代表者	杉村博之京都大学, 工学研究科, 教授 (10293656)
研究期間 (年度)	2016-04-01 – 2017-03-31
キーワード	表面処理 / ２次元材料 / グラフェン / 真空紫外光 / 光化学反応
研究成果の概要	中心波長172 nmの真空紫外(Vacuum ultraviolet: VUV)光を透過できる超薄液膜を利用して，表面光化学反応を誘起できる液相VUV光照射プロセス開発を行った．約100 nmの液膜厚さを持つマスクに有機溶媒を封入して基板表面に担持した酸化グラフェン(GO)にVUV光を照射した．基板表面に届いたVUV光がGOの光還元を液相中でも生じさせることを示した．さらに液膜中にアミン分子を溶かすことで，分子修飾にも活用できることを示した．
自由記述の分野	表面工学