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高品質再現が非常に高い単分散Fe系金属ガラス単相粒子を用い、その１粒子を粘性流動加工することによって１つの精密微小部品とするFe系金属ガラス単相微小部品の高効率成形加工法を研究開発した。パルス圧力付加オリフィス噴射法により、直径 500μmの単分散Fe系金属ガラス単相粒子を作製し、金属ガラス単相であることを確認し、過冷却液体温度範囲および結晶化までの潜伏時間、粘性係数を明らかにした。粘高精度マイクロ金 型を用いて過冷却液体温度で結晶化潜伏時間以内に粘性流動加工を試み、Fe系金属ガラス単相状態が維持されたマイクロギアを作製し、本提案が極めて有効である事を示した。
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