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2017 年度 研究成果報告書

触媒金属蒸気を利用したh-BN上へのグラフェンのCVD直接成長

研究課題

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研究課題/領域番号 16K14446
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 金属・資源生産工学
研究機関東京大学

研究代表者

長汐 晃輔  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (20373441)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
キーワードグラフェン / 2次元材料 / ファンでアワールスヘテロ
研究成果の概要

次世代半導体チャネル材料として期待される2層グラフェンのギャップ形成には,原子レベルで平坦なh-BNとの複層化が重要である.触媒機能としてCu蒸気を外部から導入し,h-BN上へのグラフェン直接成長を試みた.しかしながら,金属触媒を色々検討したもののグラフェンの成長は困難であった.そこで,グラフェンと異なりバンドギャップを有する2次元結晶であるMoS2のCVD成長を試みた.SiO2/Si基板上に3角形状の単層MoS2の形成に成功した.また,2次元結晶の機械的なヘテロ構造作成手法を検討した.レンズ形状のPDMS/PMMAを用いて,温度を詳細に制御することで複層化が可能であることがわかった.

自由記述の分野

半導体デバイス工学

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公開日: 2019-03-29  

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