次世代半導体チャネル材料として期待される2層グラフェンのギャップ形成には,原子レベルで平坦なh-BNとの複層化が重要である.触媒機能としてCu蒸気を外部から導入し,h-BN上へのグラフェン直接成長を試みた.しかしながら,金属触媒を色々検討したもののグラフェンの成長は困難であった.そこで,グラフェンと異なりバンドギャップを有する2次元結晶であるMoS2のCVD成長を試みた.SiO2/Si基板上に3角形状の単層MoS2の形成に成功した.また,2次元結晶の機械的なヘテロ構造作成手法を検討した.レンズ形状のPDMS/PMMAを用いて,温度を詳細に制御することで複層化が可能であることがわかった.
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