| 研究課題/領域番号 |
16K17492
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
桑原 有紀 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 研究員 (20635312)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| キーワード | カーボンナノチューブ / 印刷 / 分離 |
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| 研究実績の概要 |
本研究では、集積単位となる単層カーボンナノチューブの一本の物性と構造制御を行い、カーボンナノチューブの高次構造構築の技術を開発することにより、最終的に、カーボンナノチューブの薄膜デバイスの高性能化と性能のばらつき低減を目指す。当該年度では、カーボンナノチューブの薄膜トランジスタを印刷によってつくる前準備として、半導体カーボンナノチューブの分離、カーボンナノチューブインクを調製、ディスペンサーを用いた基板上へのカーボンナノチューブインクの塗布試験を行った。カーボンナノチューブは非イオン性界面活性剤であるBrijS100で分散し、電界誘起層形成法（ELF法）を用いて半導体カーボンナノチューブを分離した。分離して得られるカーボンナノチューブ分散液には、多量の界面活性剤が含まれる。今回、オンデマンドの印刷をディスペンサーを用いて行うにあたり、界面活性剤がカーボンナノチューブの基板上への塗布を阻害することが考えられたため、界面活性剤濃度を透析によって減らすことで、塗布用のカーボンナノチューブのインクとした。これまでの塗布条件の検討内容としては、基板の処理方法、インク中のカーボンナノチューブの濃度、インク中の界面活性剤濃度、塗布インク量、塗布後の基板の洗浄方法等である。塗布後、カーボンナノチューブがパーコレーション閾値以上の密度で薄膜を基板上に形成していることをＡＦＭを用いて基板観察を行い確認をした。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
ライフイベントにより研究を一時中断したことを考慮すると、遅延はあるものの順調である。印刷技術を用いたデバイス作製の準備が、最終目標にむけて進められたと考えられる。
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| 今後の研究の推進方策 |
ディスペンサーを用いてオンデマンドのカーボンナノチューブインクの塗布技術を確立させるために、均一性が高いカーボンナノチューブの塗布方法とその評価法について検討を進めたい。そして実際にデバイスを作製して性能評価を行う。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
出産に伴い、産前産後休暇および育児休暇を取得しており、研究を一時中断した期間があった。次年度以降は、当初の計画どおり進め、インクを塗布する際の制御性を上げるために、基板表面の改質等が可能なＬＥＤランプ等の導入を検討している。
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