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2017 年度 研究成果報告書

流量外乱に着目した空圧式除振台と空圧ステージに対する振動制御技術の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 16K18038
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 機械力学・制御
研究機関岡山大学

研究代表者

中村 幸紀  岡山大学, 自然科学研究科, 講師 (90574012)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2018-03-31
キーワード流量外乱 / 空圧式除振装置 / 空圧ステージ
研究成果の概要

本研究では,流量外乱が周期性を有していることを踏まえ,繰返し制御やPIS制御を用いた除振装置の振動抑制手法を提案した.また,モデル追従制御やスライディングモード制御などを用いて,空圧ステージやシリンダの位置決めの再現性を改善する方法について検討した.さらに,粒子フィルタを用いたシリンダの圧力推定も検討した.

自由記述の分野

制御工学

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公開日: 2019-03-29  

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