まず予備検討として、溶液プロセスで作製した低電圧駆動有機電界効果トランジスタと感圧キャパシタを1つに統合することで、低電圧駆動感圧センサを開発した。次いで、ここで得られた知見をもとに低電圧駆動有機電界効果トランジスタに圧電性高分子をスタッキングさせ、新規構造であるDual-gateトランジスタ型感圧センサの開発に成功した。この素子は5 Vの低電圧で駆動しつつ、電流値の圧力応答は2桁以上を実現した。次いで、素子のフレキシブル化に取り組んだ。同時に素子の性能の改善に取り組んだところ、3 Vで圧力センサとしての駆動に成功した。
|