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2018 年度 実績報告書

ホモロガスIn2O3‐ZnO薄膜の超格子形成機構とその熱電特性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 16K21338
研究機関青山学院大学

研究代表者

賈 軍軍  青山学院大学, 理工学部, 助教 (80646737)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
キーワード局所構造 / 高温酸化物熱電材料 / 層状構造 / 結晶化 / 熱電特性
研究実績の概要

本研究は化学的に安定な高温酸化物熱電材料であるホモロガス構造In2O3(ZnO)m超格子薄膜に注目する。スパッタ法により合成する製造技術を確立し、薄膜合成技術に関した固相反応のメカニズムを解明した。さらに、パルス光加熱サーモリフレクタンス法を用いて、In2O3(ZnO)m超格子薄膜の熱物性を測定し、第一原理計算によりその熱伝導機構を解明した(論文投稿中)。また、高温in-situホール測定装置を用いて、In2O3(ZnO)m超格子薄膜の電気伝導機構を解明した。

平成30年度には、研究計画に従って、アモルファスIn2O3-ZnOからホモルガスIn2O3(ZnO)mへの固相成長に関して、その場XRD測定及び広域X線吸収微細構造(EXAFS)の測定を用いて、Znの含有量が変化したアモルファスIn2O3-ZnO薄膜の結晶化過程を観察した。3元系In2O3-ZnOの結晶化過程において、カチオンであるZnとInの局所構造の時間変化や点欠陥の形成挙動を定性的に解明した。これらの手法に関して、九州シンクロトロン光研究センター2017年度の年報に掲載した。これらは、本研究が目指す層状構造を持つ高温酸化物熱電材料の作製にとって有益な基礎的知見である(現在論文をまとめて投稿中である)。また、結晶化過程を再建するため、分子動力学シミュレーションツールを構築した。現在、EXAFSで得られた結果と比較し、結晶化する際にZnとInの拡散挙動を理論的に解明することが進めている。

さらに、平成30年度には、平成28年度と平成29年度に得られたホモロガスIn2O3(ZnO)m 薄膜の電気特性・熱物性データを総合的に解析し、400℃以上の高温でZnフレンケル欠陥の形成によりできた格子間亜鉛が高温熱電特性への影響を解明し、In2O3層間のZnOの挿入層数が熱伝導率及び熱電特性への影響を明らかにした。これらは、本研究が目指す層状構造を持つ高温酸化物熱電材料の開発にとって有用な設計指針である。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2019 2018

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] 放射光を用いたアモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する評価2019

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍, 岡島敏浩, 重里有三
    • 雑誌名

      九州シンクロトロン光研究センター2017年報

      巻: 2017年報 ページ: 10-12

  • [学会発表] アモルファスIGZOトランジスタにおける欠陥構造と電子構造の関係性の解明2018

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、重里有三
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会(MRS-J)
  • [学会発表] Phonon Engineering on In2O3-and ZnO-based Thin Films2018

    • 著者名/発表者名
      Junjun Jia, and Yuzo Shigesato
    • 学会等名
      CIMTEC 2018
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] アモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      岩﨑慎平、賈軍軍、岡島敏浩、重里有三
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会(MRS-J)
  • [学会発表] Fabrication of p-type SnOx Thin Films and its Defect Structur2018

    • 著者名/発表者名
      Junjun Jia, Takumi Sugane, Yuzo Shigesato
    • 学会等名
      2018 Materials Research Society (MRS) Spring Meeting
  • [学会発表] スパッタ法を用いた酸化物半導体薄膜の作製およびTFT特性2018

    • 著者名/発表者名
      賈軍軍、重里有三
    • 学会等名
      第2回酸化物半導体討論会 (東京工業大学)

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公開日: 2019-12-27  

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