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本共同研究では，基課題で検討中のマイクロ熱検知素子による微小欠陥検出の高精度化実現に向け，熱検知素子-測定面間の間隙量検出技術の開発を目的として，モード同期フェムト秒レーザを光源に用いた２面間高精度変位検出技術について検討するとともに，パルスレーザ周波数安定制御システムの開発を試みた．また，熱検知素子でスケール目盛を読み取り位置検出する，全く新たな原理に基づく「熱収支場検知式リニアスケール」の実現に必須となる，素子-測定面間隙のチルト検出手法の確立を目指し，光学式角度センサ技術に立脚したチルト検出手法を開発した．
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